特許
J-GLOBAL ID：201303090760493748
塗布装置及び口金認識方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-049177
公開番号（公開出願番号）：特開2013-184085
出願日： 2012年03月06日
公開日（公表日）： 2013年09月19日
要約：
【課題】塗布精度を落とすことなく容易に口金部の塗布幅を変更することができ、また塗布幅が変更されても塗布条件の変更ミスが生じるのを抑えることのできる塗布装置及び口金認識方法を提供する。【解決手段】ステージと、スリットノズルを有する口金部と、を備え、口金部とステージとを相対的に移動させることにより、基板上に塗布膜を形成する塗布装置であって、口金部は、スリットノズルの長さが異なる複数の種類の口金部が載せ替え可能になっており、スリットノズルの長手方向端部には、吐出口位置よりも口金本体側に切り取られた切欠部が形成されており、スリットノズルとステージとの距離を計測するギャップセンサがステージに取付けられており、このギャップセンサにより切欠部の位置を計測することにより、口金部の種別が判別される構成とする。【選択図】図6
請求項（抜粋）：
基板を載置するステージと、
塗布液が貯留される口金本体と口金本体に貯留された塗布液が吐出される吐出口が一方向に延びて形成されるスリットノズルを有する口金部と、
を備え、前記口金部と前記ステージとを相対的に移動させることにより、基板上に塗布膜を形成する塗布装置であって、
前記口金部は、スリットノズルの長さが異なる複数の種類の口金部が載せ替え可能になっており、
前記スリットノズルの長手方向端部には、吐出口位置よりも口金本体側に切り取られた切欠部が形成されており、
前記スリットノズルとステージとの距離を計測するギャップセンサが前記ステージに取付けられており、このギャップセンサにより前記切欠部の位置を計測することにより、口金部の種別が判別されることを特徴とする塗布装置。
IPC (3件)：
B05C 11/00
, B05C 5/02
, B05D 1/26
B05C11/00
, B05C5/02
, B05D1/26 Z
4D075AC02
, 4D075AC84
, 4D075AC86
, 4D075AC88
, 4D075AC93
, 4F041AA02
, 4F041AB01
, 4F041BA12
, 4F041CA02
, 4F042AA06
, 4F042AA10
, 4F042AB00
, 4F042BA08
, 4F042BA22
, 4F042DH09
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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