特許
J-GLOBAL ID：201303091484594116
加工形状の予測方法、加工条件の決定方法、加工量予測方法、加工形状予測システム、加工条件決定システム、加工システム、加工形状予測計算機プログラム、加工条件決定計算機プログラム、プログラム記録媒体、及び半導体デバイスの製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人OFH特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-036901
公開番号（公開出願番号）：特開2013-118404
出願日： 2013年02月27日
公開日（公表日）： 2013年06月13日
要約：
【課題】加工条件が与えられたとき、正確に対応する加工形状を予測可能な加工形状の予測方法を提供する。【解決手段】ステップS11において、補正係数を含んだモデル式、すなわち所定の加工条件に対応して決定される加工形状のモデル式を作成する。次に、ステップS12において、簡単な加工条件を設定し、加工を実施する。続いて、ステップS13において加工形状を計測する。そして、ステップS14において、モデル式で計算される加工形状が実際に得られた加工形状に近くなるように、補正係数を同定する。その後は、ステップS15で同定されたモデル式を使用して、与えられた加工条件に対応する加工形状を推定する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
被加工物を加工する加工条件によって決定される加工形状を予測するシミュレーション
モデルであって、当該シミュレーションモデル中に補正係数を含むものを作成し、簡単な
加工条件で加工を行った際の実際の加工形状に、前記シミュレーションモデルによって求
められた加工形状が近くなるように前記補正係数を決定し、補正係数が決定された前記シ
ミュレーションモデルを使用して、与えられた加工条件に対応する加工形状を予測するこ
とを特徴とする加工形状の予測方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L21/304 622R
, H01L21/02 Z
5F057AA12
, 5F057BA11
, 5F057CA11
, 5F057DA03
, 5F057DA11
, 5F057GA17
