特許
J-GLOBAL ID：201303092043019171

保護部材および保護テープ貼着方法

発明者：
北村 宏

北村 宏 について

, 
坂本 吉行

坂本 吉行 について


出願人/特許権者：
株式会社ディスコ

株式会社ディスコ について


代理人 (2件)： 小野 尚純 ,  奥貫 佐知子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-108264
公開番号（公開出願番号）：特開2013-235998
出願日： 2012年05月10日
公開日（公表日）： 2013年11月21日
要約：
【課題】保護テープの敷設された環状の粘着層を、ウエーハの外周部に確実に貼着することができる保護部材および保護テープ貼着方法を提供する。【解決手段】ウエーハの直径に対応した直径を有しウエーハの外周部に対応する外周部にのみ環状の粘着層を表面に備えた保護テープをウエーハに貼着するための保護部材であって、保護テープより大きい面積を有し表面に環状の粘着層よりも粘着力の弱い粘着層が敷設された帯状のシートと、帯状のシートと同じ大きさを有する帯状の剥離紙とからなり、帯状のシートの表面に保護テープの裏面が所定の間隔を持って貼着され、帯状のシートの表面に貼着された複数の保護テープの表面に敷設された環状の粘着層に帯状の剥離紙が敷設され、帯状のシートと複数の保護テープおよび帯状の剥離紙はロール状に巻かれている。【選択図】図2-b
請求項（抜粋）：
ウエーハの直径に対応した直径を有しウエーハの外周部に対応する外周部にのみ環状の粘着層を表面に備えた保護テープをウエーハに貼着するための保護部材であって、 該保護テープより大きい面積を有し表面に該環状の粘着層よりも粘着力の弱い粘着層が敷設された帯状のシートと、該帯状のシートと同じ大きさを有する帯状の剥離紙とからなり、 該帯状のシートの表面に該保護テープの裏面が所定の間隔を持って貼着され、該帯状のシートの表面に貼着された複数の該保護テープの表面に敷設された該環状の粘着層に該帯状の剥離紙が敷設され、該帯状のシートと複数の該保護テープおよび該帯状の剥離紙はロール状に巻かれている、 ことを特徴とする保護部材。
IPC (1件)：
H01L 21/683
FI (1件)：
H01L21/68 N
Fターム (13件)：
5F131AA02 ,  5F131BA53 ,  5F131CA31 ,  5F131DD76 ,  5F131EA07 ,  5F131EA23 ,  5F131EB01 ,  5F131EC34 ,  5F131EC37 ,  5F131EC62 ,  5F131EC63 ,  5F131EC69 ,  5F131FA26
引用特許：
審査官引用 (4件)
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