特許
J-GLOBAL ID：200903018228530885

シート貼付装置およびシート貼付方法

発明者：
齋藤 威洋

齋藤 威洋 について

, 
杉下 芳昭

杉下 芳昭 について


出願人/特許権者：
リンテック株式会社

リンテック株式会社 について


代理人 (2件)： 和田 成則 ,  茅原 裕二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-351539
公開番号（公開出願番号）：特開2007-158037
出願日： 2005年12月06日
公開日（公表日）： 2007年06月21日
要約：
【課題】被着体への接着シートの貼付不良や、貼付不良に起因する不具合、例えば被着体の損傷などを防止するのに好適なシート貼付装置を提供する。【解決手段】剥離材5上に仮着され所定形状に切断された接着シート6と該接着シートの周辺に形成されたスペーサシート7とを有する原反2から前記接着シート6を剥離し被着体である半導体ウエハWに貼付するシート貼付装置1の構成として、前記原反2を保持手段3で保持し、この保持された原反2に駆動手段8で繰り出しの駆動力を付与し、その駆動力の付与で繰り出された原反2の剥離材5と接着シート6とをピールプレート14で剥離する前に予め、除去手段16で原反2からスペーサシート7が取り除かれるものとする。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
剥離材上に仮着され所定形状に切断された接着シートと該接着シートの周辺に形成されたスペーサシートとを有する原反から前記接着シートを繰り出し、当該接着シートを被着体に貼付するシート貼付装置において、 前記原反を保持する保持手段と、 前記剥離材と前記接着シートとを剥離する剥離手段と、 前記原反に繰り出しの駆動力を付与する駆動手段と、 前記シート部が剥離された剥離材を巻き取る巻取手段とを有し、 前記剥離手段の前段に前記原反から前記スペーサシートを取り除く除去手段を設けたこと を特徴とするシート貼付装置。
IPC (1件)：
H01L 21/683
FI (1件)：
H01L21/68 N
Fターム (19件)：
3E095AA01 ,  3E095BA03 ,  3E095CA01 ,  3E095DA03 ,  3E095DA22 ,  3E095DA42 ,  3E095DA48 ,  3E095EA02 ,  3E095EA10 ,  3E095FA06 ,  5F031CA02 ,  5F031DA15 ,  5F031HA13 ,  5F031HA57 ,  5F031HA78 ,  5F031JA01 ,  5F031JA32 ,  5F031JA45 ,  5F031MA37
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (4件)
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