特許
J-GLOBAL ID:201303092406014029
インピーダンス測定装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件):
小宮 良雄
, 大西 浩之
, 中山 実
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2011-142541
公開番号(公開出願番号):特開2013-011444
出願日: 2011年06月28日
公開日(公表日): 2013年01月17日
要約:
【課題】測定対象物の直流抵抗の高低によらず、所定の直流バイアス電圧を測定対象物に印加しつつインピーダンスを測定することができるインピーダンス測定装置を提供する。【解決手段】インピーダンス測定装置1は、直流電圧を重畳させた交流電圧を、所定の直流出力抵抗R0でDUT90に出力する信号源2と、DUT90に流れる電流を検出する電流検出部3と、DUT90の両端電圧を検出する電圧検出部4と、電流検出部3及び電圧検出部4の出力を読み込んで、DUT90のインピーダンスを演算する演算処理部5とを備え、直流電圧のみを信号源2から出力させた状態で、演算処理部4と信号源2とが、所定の直流バイアス電圧をDUT90に印加させるフィードバック関係で接続されるものである。【選択図】図1
請求項(抜粋):
直流電圧を重畳させた交流電圧を、所定の直流出力抵抗で測定対象物に出力する信号源と、
該測定対象物に流れる電流を検出する電流検出部と、
該測定対象物の両端電圧を検出する電圧検出部と、
該電流検出部及び該電圧検出部の出力を読み込んで、該測定対象物のインピーダンスを演算する演算処理部とを備えるインピーダンス測定装置であって、
該直流電圧のみ、又は該直流電圧を重畳させた該交流電圧を該信号源から出力させた状態で、該電圧検出部又は該演算処理部と、該信号源とが、所定の直流バイアス電圧を該測定対象物に印加させるフィードバック関係で接続されることを特徴とするインピーダンス測定装置。
IPC (1件):
FI (1件):
Fターム (9件):
2G028AA01
, 2G028BB06
, 2G028CG02
, 2G028CG08
, 2G028DH03
, 2G028DH05
, 2G028FK02
, 2G028GL07
, 2G028HN11
引用特許:
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