特許
J-GLOBAL ID:201303094336863000

フォトスペーサ用感光性樹脂組成物およびこれを用いたフォトスペーサ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 特許業務法人特許事務所サイクス
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2011-178445
公開番号(公開出願番号):特開2013-041152
出願日: 2011年08月17日
公開日(公表日): 2013年02月28日
要約:
【課題】g線及びh線に対する露光感度が高く、かつ、主PSとサブPSの両方の形状に優れたスペーサを提供する。【解決手段】(A)光重合開始剤、(B)溶剤、(C)重合性モノマーおよび(D)アルカリ可溶性樹脂を含み、(A)光重合開始剤として、1種以上のO-アシルオキシムエステル化合物と、1種以上のα-アミノアセトフェノン化合物を含み、同時に2種以上の独立したパターンの形成が可能であることを特徴とする感光性樹脂組成物。【選択図】 なし
請求項(抜粋):
(A)光重合開始剤、(B)溶剤、(C)重合性モノマーおよび(D)アルカリ可溶性樹脂を含み、(A)光重合開始剤として、1種以上のO-アシルオキシムエステル化合物と、1種以上のα-アミノアセトフェノン化合物を含み、同時に2種以上の独立したパターンの形成が可能であることを特徴とする感光性樹脂組成物。
IPC (5件):
G03F 7/031 ,  G03F 7/027 ,  G03F 7/033 ,  G02F 1/133 ,  C08F 2/50
FI (5件):
G03F7/031 ,  G03F7/027 502 ,  G03F7/033 ,  G02F1/1339 500 ,  C08F2/50
Fターム (48件):
2H125AC03 ,  2H125AC35 ,  2H125AC36 ,  2H125AC72 ,  2H125AD02 ,  2H125AD06 ,  2H125AD15 ,  2H125AE13P ,  2H125AM22P ,  2H125AM23P ,  2H125AM32P ,  2H125AN22P ,  2H125AN39P ,  2H125AN58P ,  2H125BA01P ,  2H125BA05P ,  2H125BA09P ,  2H125BA32P ,  2H125CA22 ,  2H125CB05 ,  2H125CC01 ,  2H125CC13 ,  2H125CD06P ,  2H125CD34 ,  2H125CD38 ,  2H189DA06 ,  2H189DA43 ,  2H189EA06X ,  2H189FA16 ,  2H189HA12 ,  4J011AA01 ,  4J011AA05 ,  4J011AC04 ,  4J011QA02 ,  4J011QA03 ,  4J011QA07 ,  4J011QA13 ,  4J011QA22 ,  4J011QA23 ,  4J011QA25 ,  4J011SA15 ,  4J011SA22 ,  4J011SA63 ,  4J011SA64 ,  4J011SA65 ,  4J011UA04 ,  4J011VA01 ,  4J011WA01
引用特許:
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (11件)
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