特許
J-GLOBAL ID:201303094336863000
フォトスペーサ用感光性樹脂組成物およびこれを用いたフォトスペーサ
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
特許業務法人特許事務所サイクス
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2011-178445
公開番号(公開出願番号):特開2013-041152
出願日: 2011年08月17日
公開日(公表日): 2013年02月28日
要約:
【課題】g線及びh線に対する露光感度が高く、かつ、主PSとサブPSの両方の形状に優れたスペーサを提供する。【解決手段】(A)光重合開始剤、(B)溶剤、(C)重合性モノマーおよび(D)アルカリ可溶性樹脂を含み、(A)光重合開始剤として、1種以上のO-アシルオキシムエステル化合物と、1種以上のα-アミノアセトフェノン化合物を含み、同時に2種以上の独立したパターンの形成が可能であることを特徴とする感光性樹脂組成物。【選択図】 なし
請求項(抜粋):
(A)光重合開始剤、(B)溶剤、(C)重合性モノマーおよび(D)アルカリ可溶性樹脂を含み、(A)光重合開始剤として、1種以上のO-アシルオキシムエステル化合物と、1種以上のα-アミノアセトフェノン化合物を含み、同時に2種以上の独立したパターンの形成が可能であることを特徴とする感光性樹脂組成物。
IPC (5件):
G03F 7/031
, G03F 7/027
, G03F 7/033
, G02F 1/133
, C08F 2/50
FI (5件):
G03F7/031
, G03F7/027 502
, G03F7/033
, G02F1/1339 500
, C08F2/50
Fターム (48件):
2H125AC03
, 2H125AC35
, 2H125AC36
, 2H125AC72
, 2H125AD02
, 2H125AD06
, 2H125AD15
, 2H125AE13P
, 2H125AM22P
, 2H125AM23P
, 2H125AM32P
, 2H125AN22P
, 2H125AN39P
, 2H125AN58P
, 2H125BA01P
, 2H125BA05P
, 2H125BA09P
, 2H125BA32P
, 2H125CA22
, 2H125CB05
, 2H125CC01
, 2H125CC13
, 2H125CD06P
, 2H125CD34
, 2H125CD38
, 2H189DA06
, 2H189DA43
, 2H189EA06X
, 2H189FA16
, 2H189HA12
, 4J011AA01
, 4J011AA05
, 4J011AC04
, 4J011QA02
, 4J011QA03
, 4J011QA07
, 4J011QA13
, 4J011QA22
, 4J011QA23
, 4J011QA25
, 4J011SA15
, 4J011SA22
, 4J011SA63
, 4J011SA64
, 4J011SA65
, 4J011UA04
, 4J011VA01
, 4J011WA01
引用特許:
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (11件)
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