特許
J-GLOBAL ID:201303094511219992
クラック評価方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (2件):
渡辺 望稔
, 三和 晴子
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2012-177109
公開番号(公開出願番号):特開2013-061323
出願日: 2012年08月09日
公開日(公表日): 2013年04月04日
要約:
【課題】皮膜付き鋼板などの試料の表面に生じたクラックをより適切に評価し得るクラック評価方法を提供する。【解決手段】試料表面に発生したクラックを評価するクラック評価方法であって、上記試料表面に金属薄膜を成膜する工程と、走査電子顕微鏡(SEM)を用いて上記金属薄膜の反射電子像(BSE像)を取得する工程と、上記取得したBSE像に基いて上記クラックを評価する工程と、を備えるクラック評価方法。【選択図】図3
請求項(抜粋):
試料表面に発生したクラックを評価するクラック評価方法であって、
前記試料表面に金属薄膜を成膜する工程と、
走査電子顕微鏡(SEM)を用いて前記金属薄膜の反射電子像(BSE像)を取得する工程と、
前記取得したBSE像に基いて前記クラックを評価する工程と、
を備えるクラック評価方法。
IPC (2件):
FI (2件):
Fターム (15件):
2G001AA03
, 2G001BA07
, 2G001BA15
, 2G001CA03
, 2G001GA06
, 2G001HA07
, 2G001HA13
, 2G001JA16
, 2G001KA04
, 2G001LA02
, 2G001MA05
, 2G001PA07
, 2G052AA12
, 2G052FD06
, 2G052GA35
引用特許:
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