特許
J-GLOBAL ID：201003010907961240
表面に元素薄膜が存在する微小体の識別法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (4件)：
小林 浩
, 片山 英二
, 藤田 尚
, 鈴木 康仁
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-219481
公開番号（公開出願番号）：特開2010-054336
出願日： 2008年08月28日
公開日（公表日）： 2010年03月11日
要約：
【課題】表面を2層以上の薄膜で被覆された微小体の種類を、電子線検査における反射電子の量を計測することにより識別する。【解決手段】微小体表面を様々な素材の薄膜で2層以上被覆する。その際、共通の素材を用いた生体分子の固定に利用する基準層と、異なる素材を用いた識別に利用する可変層により薄膜を構成する。薄膜を構成する際には抵抗加熱式蒸着装置などを用いて膜厚を厳密に制御しながら作製する。作製した微小体に電子線を照射する。入射電子が可変層に到達するよう適切な入射電子加速電圧を選択する。電子線照射により微小体から得られる反射電子像の輝度の差から、微小体可変層の素材の種類を識別する。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
1種または2種以上の金属、遷移金属、または半導体を含む層状構造で被覆された微小体を識別する方法であって、
前記微小体に電子線を照射する工程、
前記層状構造からの反射電子量を測定する工程、および
前記反射電子量により前記微小体を識別する工程、
を含む、方法。
IPC (3件)：
G01N 23/225
, G01N 23/203
, G01N 33/543
G01N23/225
, G01N23/203
, G01N33/543 541Z
2G001AA03
, 2G001BA07
, 2G001BA15
, 2G001CA03
, 2G001GA05
, 2G001GA06
, 2G001GA08
, 2G001GA09
, 2G001HA13
, 2G001JA02
, 2G001KA01
, 2G001MA05
, 2G001MA10
, 2G001NA16
, 2G001NA17
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (5件)
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引用文献：
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