特許
J-GLOBAL ID：201303095309987852
差圧発信器
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
山川 政樹
, 山川 茂樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-047821
公開番号（公開出願番号）：特開2013-181949
出願日： 2012年03月05日
公開日（公表日）： 2013年09月12日
要約：
【課題】センサチップの接合部の剥離を完全に防止する。【解決手段】測定圧P1を分岐して受けるP1側保護用受圧ダイアフラム14aと、測定圧P2を分岐して受けるP2側保護用受圧ダイアフラム14bと、P1側保護用受圧ダイアフラムストッパ15aと、P2側保護用受圧ダイアフラムストッパ15bとを設ける。P1側保護用受圧ダイアフラム14aの背面側の空間として形成されている凹部12eとセンサ室12aとを連通路12iで結び、P2側保護用受圧ダイアフラム14bの背面側の空間として形成されている凹部12fとセンサ室12aとを連通路12jで結ぶ。凹部12e,12f、連通路12i,12j、センサ室12aを合わせた空間を封入室として圧力伝達媒体16cを充填し、測定圧P1,P2のうち相対的に高圧の測定圧をセンサチップ11のセンサ室12aの壁面12bとの接合部に向かう方向に働かせるようにする。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
センサ室の壁面に接合されたセンサチップと、
このセンサチップ内に設けられ、一方の面および他方の面に受ける圧力差に応じた信号を出力するセンサダイアフラムと、
第1の測定圧を受ける第1の受圧ダイアフラムと、
第2の測定圧を受ける第2の受圧ダイアフラムと、
前記第1の受圧ダイアフラムが受けた第1の測定圧を前記センサダイアフラムの一方の面に伝達する第1の圧力伝達媒体と、
前記第2の受圧ダイアフラムが受けた第2の測定圧を前記センサダイアフラムの他方の面に伝達する第2の圧力伝達媒体とを備えた差圧発信器において、
前記センサ室を封入室の一部として充填され、前記第1の測定圧および前記第2の測定圧のうち相対的に高圧の測定圧を、前記センサチップのセンサ室の壁面との接合部に向かう方向に働かせる第3の圧力伝達媒体
を備えることを特徴とする差圧発信器。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (11件)：
2F055AA40
, 2F055BB05
, 2F055CC02
, 2F055DD20
, 2F055EE40
, 2F055FF21
, 2F055FF38
, 2F055GG12
, 2F055GG22
, 2F055GG25
, 2F055HH08
出願人引用 (1件)
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半導体差圧センサ
公報種別：公開公報
出願番号：特願平3-172472
出願人：横河電機株式会社
審査官引用 (1件)
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半導体差圧センサ
公報種別：公開公報
出願番号：特願平3-172472
出願人：横河電機株式会社
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