特許
J-GLOBAL ID:201303095398784145

金属膜形成用組成物、金属膜、金属膜の形成方法および電子部品

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 特許業務法人SSINPAT
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2011-123429
公開番号(公開出願番号):特開2012-251187
出願日: 2011年06月01日
公開日(公表日): 2012年12月20日
要約:
【解決手段】表面部を含む一部分が金属の酸化物からなり、前記表面部を含む一部分以外の部分が前記金属からなる金属-金属酸化物複合粒子(A1)、および金属酸化物粒子(A2)から選択される少なくとも1種の金属酸化物含有粒子(A)、アルジトール(B)およびアルジトールの酸化物(C)を含有することを特徴とする金属膜形成用組成物。【効果】本発明の金属膜形成用組成物を用いると、金属膜を効率よく形成することができる。特に、本発明の金属膜形成用組成物は、膜厚の大きい金属膜であっても、イオン化傾向の大きい金属からなる膜であっても、効率よく形成することができる。【選択図】なし
請求項(抜粋):
表面部を含む一部分が金属の酸化物からなり、前記表面部を含む一部分以外の部分が前記金属からなる金属-金属酸化物複合粒子(A1)、および金属酸化物粒子(A2)から選択される少なくとも1種の金属酸化物含有粒子(A)、アルジトール(B)およびアルジトールの酸化物(C)を含有することを特徴とする金属膜形成用組成物。
IPC (4件):
C23C 24/08 ,  C01G 3/02 ,  C23C 26/00 ,  C23C 18/40
FI (4件):
C23C24/08 B ,  C01G3/02 ,  C23C26/00 K ,  C23C18/40
Fターム (19件):
4K022AA13 ,  4K022AA42 ,  4K022BA08 ,  4K022DA01 ,  4K022DB01 ,  4K022DB24 ,  4K022EA04 ,  4K044AA16 ,  4K044AB08 ,  4K044BA06 ,  4K044BB01 ,  4K044BB03 ,  4K044BB11 ,  4K044BB13 ,  4K044BC14 ,  4K044CA24 ,  4K044CA27 ,  4K044CA53 ,  4K044CA59
引用特許:
審査官引用 (4件)
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