特許
J-GLOBAL ID:201303095398784145
金属膜形成用組成物、金属膜、金属膜の形成方法および電子部品
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
特許業務法人SSINPAT
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2011-123429
公開番号(公開出願番号):特開2012-251187
出願日: 2011年06月01日
公開日(公表日): 2012年12月20日
要約:
【解決手段】表面部を含む一部分が金属の酸化物からなり、前記表面部を含む一部分以外の部分が前記金属からなる金属-金属酸化物複合粒子(A1)、および金属酸化物粒子(A2)から選択される少なくとも1種の金属酸化物含有粒子(A)、アルジトール(B)およびアルジトールの酸化物(C)を含有することを特徴とする金属膜形成用組成物。【効果】本発明の金属膜形成用組成物を用いると、金属膜を効率よく形成することができる。特に、本発明の金属膜形成用組成物は、膜厚の大きい金属膜であっても、イオン化傾向の大きい金属からなる膜であっても、効率よく形成することができる。【選択図】なし
請求項(抜粋):
表面部を含む一部分が金属の酸化物からなり、前記表面部を含む一部分以外の部分が前記金属からなる金属-金属酸化物複合粒子(A1)、および金属酸化物粒子(A2)から選択される少なくとも1種の金属酸化物含有粒子(A)、アルジトール(B)およびアルジトールの酸化物(C)を含有することを特徴とする金属膜形成用組成物。
IPC (4件):
C23C 24/08
, C01G 3/02
, C23C 26/00
, C23C 18/40
FI (4件):
C23C24/08 B
, C01G3/02
, C23C26/00 K
, C23C18/40
Fターム (19件):
4K022AA13
, 4K022AA42
, 4K022BA08
, 4K022DA01
, 4K022DB01
, 4K022DB24
, 4K022EA04
, 4K044AA16
, 4K044AB08
, 4K044BA06
, 4K044BB01
, 4K044BB03
, 4K044BB11
, 4K044BB13
, 4K044BC14
, 4K044CA24
, 4K044CA27
, 4K044CA53
, 4K044CA59
引用特許: