特許
J-GLOBAL ID:201303097061177436
回折格子及びその製造方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
特許業務法人池内・佐藤アンドパートナーズ
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2011-182480
公開番号(公開出願番号):特開2013-044927
出願日: 2011年08月24日
公開日(公表日): 2013年03月04日
要約:
【課題】反射光と透過光に対して異なる回折特性を示す回折格子を提供する。【解決手段】周期的な表面凹凸構造5が形成された透明基板4と、透明基板面上に設けられ、表面凹凸構造とは異なる周期的な表面形状パターンを形成する金属膜11とを備え、金属膜による反射光においては、表面凸凹構造及び表面形状パターンに応じた回折光が発生し、透明基板を透過する光においては、金属膜の表面形状パターンに応じた回折光が発生する。例えば、透明基板と金属膜の間には、光または電子線などのエネルギービーム照射によりその硬さが変化する有機材料からなる有機材料層6が形成されており、有機材料層は、透明基板の表面凹凸構造とは異なるようにエネルギービーム照射により形成された周期的な硬度変化のパターンを有し、金属膜の表面形状パターンは、有機材料層の硬度変化のパターン7に従って形成されたものである。【選択図】図7
請求項(抜粋):
周期的な表面凹凸構造が形成された透明基板と、
前記透明基板面上に設けられ、前記表面凹凸構造とは異なる周期的な表面形状パターンを形成する金属膜とを備え、
前記金属膜による反射光においては、前記表面凸凹構造及び前記表面形状パターンに応じた回折光が発生し、
前記透明基板を透過する光においては、前記金属膜の表面形状パターンに応じた回折光が発生することを特徴とする回折格子。
IPC (1件):
FI (1件):
Fターム (11件):
2H249AA03
, 2H249AA07
, 2H249AA13
, 2H249AA31
, 2H249AA33
, 2H249AA41
, 2H249AA51
, 2H249AA55
, 2H249AA57
, 2H249AA59
, 2H249AA65
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