特許
J-GLOBAL ID：201303097961049522

透明導電性薄膜積層体のエッチング液

発明者：
臼井 繁隆

臼井 繁隆 について

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香取 光臣

香取 光臣 について

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佐藤 孝彰

佐藤 孝彰 について


出願人/特許権者：
日本表面化学株式会社

日本表面化学株式会社 について


代理人 (1件)： アクシス国際特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-222136
公開番号（公開出願番号）：特開2013-084680
出願日： 2011年10月06日
公開日（公表日）： 2013年05月09日
要約：
【課題】透明導電性薄膜又は透明導電性薄膜積層体の従来のエッチング液は、導電性薄膜等のアンダーカットを生じる問題があるので、これを解決できるエッチング液を提供することを課題とする。【解決手段】硫酸、過酸化水素及び含窒素化合物を含有する、透明導電性薄膜及び透明導電性薄膜積層体をエッチングに用いられるpH7.0未満のエッチング液。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
硫酸、過酸化水素及び含窒素化合物を含有することを特徴とする、透明導電性薄膜及び透明導電性薄膜積層体のエッチングに用いられるpH7.0未満のエッチング液。
IPC (4件)：
H01L 21/306 ,  H01B 13/00 ,  B32B 15/01 ,  B32B 9/00
FI (5件)：
H01L21/306 F ,  H01B13/00 503B ,  H01B13/00 503D ,  B32B15/01 K ,  B32B9/00 A
Fターム (19件)：
4F100AA33A ,  4F100AB01B ,  4F100AB24B ,  4F100AB31B ,  4F100BA02 ,  4F100EJ15 ,  4F100JM02B ,  4F100JN01A ,  5F043AA26 ,  5F043AA27 ,  5F043AA40 ,  5F043BB14 ,  5F043BB18 ,  5F043BB30 ,  5F043GG02 ,  5G323BA01 ,  5G323BA02 ,  5G323BC03 ,  5G323CA01
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (3件)

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