歪検知装置及びその製造方法

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：日向寺雅彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-211212
公開番号（公開出願番号）：特開2013-072712
出願日： 2011年09月27日
公開日（公表日）： 2013年04月22日
要約：

【課題】微小領域で歪を高感度に検知することができる歪検知装置及びその製造方法を提供する。【解決手段】実施形態によれば、半導体回路部と、半導体回路部の上に設けられた検知部と、を含む歪検知装置が提供される。半導体回路部は、半導体基板上に設けられたトランジスタを有する。検知部は、トランジスタの上方に設けられた空洞部と、空洞部と並置された非空洞部と、を有する。検知部は、可動梁、歪検知素子部、第1、第2埋め込み配線を含む。可動梁は、固定部分及び可動部分を有し、第1、第2配線層を含む。固定部分は非空洞部に固定される。可動部分は、固定部分から空洞部に延びトランジスタと離間する。歪検知素子部は、可動部分に固定され、第1、第2配線層と電気的に接続され、第1磁性層を含む。第1、第2埋め込み配線は、非空洞部に設けられ、第1、第2配線層と半導体回路部とを電気的に接続する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

半導体基板と、前記半導体基板の主面上に設けられたトランジスタと、を有する半導体回路部と、前記半導体回路部の上に設けられた検知部であって、前記検知部は、前記トランジスタの上方に設けられた空洞部と、前記主面に対して平行な平面内で前記空洞部と並置された非空洞部と、を有し、前記検知部は、前記非空洞部に固定された固定部分と、前記固定部分から前記空洞部に延び前記トランジスタと離間し前記トランジスタとの間の距離が可変の可動部分と、を有する可動梁であって、前記固定部分から前記可動部分に向けて延びる第1配線層と第2配線層とを含む、可動梁と、前記可動部分に固定され、一端が前記第1配線層と電気的に接続され、他端が前記第2配線層と電気的に接続され、第1磁性層を含む歪検知素子部と、前記非空洞部に設けられ、前記第1配線層と前記半導体回路部とを電気的に接続する第1埋め込み配線と、前記非空洞部に設けられ、前記第2配線層と前記半導体回路部とを電気的に接続する第2埋め込み配線と、を含む、前記検知部とを備えた歪検知装置。

IPC (2件)：

G01B 7/24 , H01L 43/08

FI (2件)：

G01B7/24 , H01L43/08 Z

Fターム (26件)：

2F063AA25 , 2F063CA34 , 2F063DA05 , 2F063EC03 , 2F063EC05 , 5F092AB01 , 5F092AC08 , 5F092AC12 , 5F092AD03 , 5F092AD12 , 5F092AD24 , 5F092BB17 , 5F092BB22 , 5F092BB23 , 5F092BB31 , 5F092BB34 , 5F092BB35 , 5F092BB36 , 5F092BB38 , 5F092BB42 , 5F092BB43 , 5F092BB45 , 5F092BB55 , 5F092BC04 , 5F092BC07 , 5F092BC13

引用特許：

審査官引用 (4件)

表面形状認識用センサおよびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-053911 出願人：日本電信電話株式会社
応力センサー
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-221615 出願人：松下電器産業株式会社
特開昭62-094988

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