特許

J-GLOBAL ID：201303098110523546

特に多重チャンネルの周波数選択的測定のための光学的バンドパスフィルタシステム

発明者： ユンガー,シュテファン ,  チェカレンスキー,ウラジーミル ,  ヴェーバー,ノルベルト
出願人/特許権者： フラウンホッファー-ゲゼルシャフト ツァ フェルダールング デァ アンゲヴァンテン フォアシュンク エー.ファオ
代理人 (1件)： 特許業務法人三澤特許事務所
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-518986
公開番号（公開出願番号）：特表2013-539059
出願日： 2011年07月11日
公開日（公表日）： 2013年10月17日
要約：

【課題】小さな周波数帯域幅を有する異なるフィルタを非常に小さいスペースに横方向に隣接配置することができ、かつ、半導体プロセス、特にCMOSプロセスにその製造を容易に統合することが可能な光学的フィルタシステムを提案する。【解決手段】この発明は、第1のナノ構造金属層(4)を含むバンドパスフィルタと第2のナノ構造金属層(7)を含むバンドストップフィルタとの組み合わせを少なくとも1つ有する光学的バンドパスフィルタシステムに関し、これらフィルタの一方が他方の裏側に配置され、互いの層厚が異なる。バンドストップフィルタは、バンドパスフィルタの透過帯域幅と部分的に重なる隣接する波長帯域を遮断するように、バンドパスフィルタに対して調整される。提案に係る光学的フィルタシステムによれば、小さなスペースに隣り合うように小さい透過帯域幅の様々なフィルタ特性を作成できる。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

第1の層厚を有する第1のナノ構造金属層(4)を含むバンドパスフィルタと、第2の層厚を有する第2のナノ構造金属層(7)を含むバンドストップフィルタとの組み合わせを少なくとも1つ有し、それらの一方が他方の上に配置され、前記バンドストップフィルタは、前記バンドパスフィルタの透過帯域幅と部分的に重なる隣接する波長帯域を遮断するように、前記バンドパスフィルタに対して調整されており、前記第1および第2の層厚が互いに異なることを特徴とする光学的フィルタシステム。

IPC (5件)：

G02B 5/28 ,  G01J 3/36 ,  G01J 3/12 ,  G01J 3/51 ,  H01L 31/023

FI (5件)：

G02B5/28 ,  G01J3/36 ,  G01J3/12 ,  G01J3/51 ,  H01L31/02 D

Fターム (10件)：

2G020AA08 ,  2G020CC31 ,  2G020DA32 ,  2H148GA03 ,  2H148GA12 ,  2H148GA33 ,  2H148GA35 ,  5F088AA02 ,  5F088HA06 ,  5F088HA07

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 光学フィルタ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2009-118978   出願人：キヤノン株式会社
• 光学フィルタ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2008-181500   出願人：キヤノン株式会社
• 受光素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-135210   出願人：凸版印刷株式会社
• 光学素子および固体撮像素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2009-004457   出願人：ソニー株式会社