特許
J-GLOBAL ID:201303099238189173

エキシマランプ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 大井 正彦
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2012-018151
公開番号(公開出願番号):特開2013-157262
出願日: 2012年01月31日
公開日(公表日): 2013年08月15日
要約:
【課題】一対の電極が発光管内に配設されてなる構成を有し、優れた始動性を有するエキシマランプを提供すること。【解決手段】エキシマランプは、発光用ガスが充填された発光管の内部に第一電極および第二電極が収容され、前記発光管の内部に当該発光管の管軸方向に伸びるように配置された誘電体材料からなる筒管を備えており、前記第一電極は、前記筒管の内部に当該筒管の管軸方向に伸びるように配置され、前記第二電極は、前記筒管の管軸に沿って伸びるように配置されており、前記第二電極の少なくとも一部が筒管の外表面に密着しており、この密着領域において、筒管の管壁を介して前記第一電極と当該第二電極とが少なくとも一箇所において対向していることを特徴とする。【選択図】図1
請求項(抜粋):
発光用ガスが充填された発光管の内部に第一電極および第二電極が収容されてなるエキシマランプにおいて、 前記発光管の内部に当該発光管の管軸方向に伸びるように配置された誘電体材料からなる筒管を備えており、 前記第一電極は、前記筒管の内部に当該筒管の管軸方向に伸びるように配置され、 前記第二電極は、前記筒管の管軸に沿って伸びるように配置されており、 前記第二電極の少なくとも一部が筒管の外表面に密着しており、この密着領域において、筒管の管壁を介して前記第一電極と当該第二電極とが少なくとも一箇所において対向していることを特徴とするエキシマランプ。
IPC (2件):
H01J 65/00 ,  H01J 61/34
FI (2件):
H01J65/00 Z ,  H01J61/34 F
引用特許:
出願人引用 (4件)
  • エキシマ光照射装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願2007-164165   出願人:ウシオ電機株式会社
  • 誘電体バリア放電エキシマ光源
    公報種別:公開公報   出願番号:特願2005-062950   出願人:センエンジニアリング株式会社, ハイカレントエレクトロニクスインスティテュート
  • エキシマランプ
    公報種別:公開公報   出願番号:特願2008-065311   出願人:株式会社オーク製作所
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審査官引用 (4件)
  • エキシマ光照射装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願2007-164165   出願人:ウシオ電機株式会社
  • 誘電体バリア放電エキシマ光源
    公報種別:公開公報   出願番号:特願2005-062950   出願人:センエンジニアリング株式会社, ハイカレントエレクトロニクスインスティテュート
  • エキシマランプ
    公報種別:公開公報   出願番号:特願2008-065311   出願人:株式会社オーク製作所
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