特許

J-GLOBAL ID：200903095812216267

エキシマ光照射装置

発明者： 竹添 法隆
出願人/特許権者： ウシオ電機株式会社
代理人 (1件)： 五十畑 勉男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-164165
公開番号（公開出願番号）：特開2009-004234
出願日： 2007年06月21日
公開日（公表日）： 2009年01月08日
要約：

【課題】 本発明は、窓のない開口構造のエキシマ光照射装置においても、被処理物を汚染することなくエキシマ光を照射できるエキシマ光照射装置を提供することを目的とする。【解決手段】 下方を開口した筐体内に、エキシマ光を照射するエキシマランプと、ガス流通管が設けられたエキシマ光照射装置において、 前記エキシマランプは前記筐体に吊り下げられたランプホルダにより保持され、前記ランプホルダは前記エキシマランプの管軸方向に離間して配置された脚部を有し、前記脚部は該脚部の長手方向に弾性変形することを特徴とする。【選択図】 図3

請求項（抜粋）：

下方を開口した筐体内に、エキシマ光を照射するエキシマランプと、ガス流通管が設けられたエキシマ光照射装置において、 前記エキシマランプは前記筐体に吊り下げられたランプホルダにより保持され、前記ランプホルダは前記エキシマランプの管軸方向に離間して配置された脚部を有し、前記脚部は該脚部の長手方向に弾性変形することを特徴とするエキシマ光照射装置。

IPC (4件)：

F21V 19/00 ,  H01J 65/00 ,  B08B 7/00 ,  H01L 21/304

FI (4件)：

F21V19/00 110 ,  H01J65/00 A ,  B08B7/00 ,  H01L21/304 645D

Fターム (11件)：

3B116AA02 ,  3B116AA03 ,  3B116BC01 ,  3K013AA00 ,  3K013AA04 ,  3K013BA02 ,  3K013CA02 ,  3K013EA09 ,  5F157BG46 ,  5F157CF72 ,  5F157DC90

引用特許：

出願人引用 (2件)

• キセノン照射装置とそれを用いた物体表面改質装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-101608   出願人：ウシオ電機株式会社
• モータ類の加重制御方法とその方法を用いた加重制御装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-302388   出願人：松下電器産業株式会社

審査官引用 (3件)

• エキシマ光照射装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-320248   出願人：ウシオ電機株式会社
• 誘電体バリア放電ランプおよび光照射装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-128764   出願人：浜松ホトニクス株式会社
• 放電ランプ装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-077244   出願人：ハリソン東芝ライティング株式会社