文献

J-GLOBAL ID：201402202479533192   整理番号：14A0054775

航空機搭載超微細粒子センシングのための集積電熱ヒータを備えたMEMSベースシリコン片持梁

MEMS-based silicon cantilevers with integrated electrothermal heaters for airborne ultrafine particle sensing

著者 (4件)： WASISTO Hutomo Suryo (Braunschweig Univ. Technol., Braunschweig, DEU) ,  MERZSCH Stephan (Braunschweig Univ. Technol., Braunschweig, DEU) ,  WAAG Andreas (Braunschweig Univ. Technol., Braunschweig, DEU) ,  PEINER Erwin (Braunschweig Univ. Technol., Braunschweig, DEU)
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 8763  号： Pt.2  ページ： 87632L.1-87632L.11  発行年： 2013年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 携帯型航空機搭載超微細粒子モニタにおける実現可能な用途に対して,MEMSに基づく共振型片持梁センサを設計し,作製した。シリコンバルクウエハを用いて,低コスト共振器を作製した。この種のセンサを作るための方法を示すための,フォトリソグラフィーやドーパント拡散などを含むバルクマイクロマシニング作製プロセスについて述べた。作製した矩形片持梁(500×100×13.5μm³)に対して,空気中で114.08±0.04kHzの共振周波数,1302±267のQを測定した。

シソーラス用語： *片持梁 ,  MEMS ,  圧抵抗効果 ,  ウエハ【IC】 ,  ドライエッチング ,  誘導結合プラズマ ,  積込み ,  超微粒子 ,  *センサ ,  加熱器 ,  周波数応答 ,  共振周波数 ,  計測
準シソーラス用語： 微小片持梁 ,  シリコンウエハ ,  ICP ,  航空機搭載 ,  超微細粒子 ,  *MEMSセンサ ,  電熱ヒータ ,  *質量センサ ,  質量測定

分類 (1件)： 質量,密度,比重の計測法・機器  (AD05030Z)

タイトルに関連する用語 (8件)： 航空機搭載 ,  超微細粒子 ,  センシング ,  集積 ,  電熱ヒータ ,  MEMS ,  シリコン ,  片持梁