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J-GLOBAL ID：201402205276449217   整理番号：14A0562365

薄膜金属ガラスCu-Zr-Ti超厚膜構造体の製作

著者 (4件)： 渡辺茂高 (東京工大) ,  渡辺茂高 (キヤノン電子) ,  桜井淳平 (東京工大) ,  秦誠一 (東京工大)
資料名： 日本機械学会年次大会講演論文集(CD-ROM)  (日本機械学会年次大会(CD-ROM))
巻： 2012  ページ： ROMBUNNO.J164022  発行年： 2012年09月08日 
JST資料番号： X0587C  ISSN： 2424-2667  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 薄膜金属ガラス厚膜構造体の製作方法として,スパッタ成膜とマスク部材を用いたリフトオフがある。しかしリフトオフによる厚膜構造体の製作では,スパッタ成膜で堆積する材料がマスク部材に遮られて均一には形成されずに,膜断面形状は曲面となってしまう。本報告では,突起状態となった基板に膜を形成する事により,膜厚が均一で断面に良好な矩形形状を持つ,薄膜金属ガラスの超厚膜構造体の製作方法を提案する。そして,薄膜金属ガラスCu-Zr-Ti超厚膜構造体の製作を試みた。(著者抄録)

シソーラス用語： MEMS ,  反射鏡 ,  マイクロマシニング ,  銅合金 ,  非晶質合金 ,  *金属ガラス ,  金属薄膜 ,  厚膜技術 ,  スパッタリング ,  ジルコニウム含有合金 ,  チタン含有合金 ,  硝酸 ,  *構造体 ,  浸漬 ,  *厚膜
準シソーラス用語： マイクロミラー ,  *厚膜構造体

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  非晶質金属の構造  (BK04020D)

タイトルに関連する用語 (8件)： 薄膜金属 ,  ガラス ,  Cu ,  Zr ,  Ti ,  厚膜 ,  構造体 ,  製作