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J-GLOBAL ID：201402207423430163   整理番号：14A1047466

表面改質における試験・評価・分析技術 公設試におけるDLCラウンドロビンテスト-DLC密着性評価方法の検討-

著者 (2件)： 三浦健一 (大阪府産業技術総合研) ,  國次真輔 (岡山県工技セ)
資料名： Mechanical Surface Tech  (Mechanical Surface Tech)
号： 21  ページ： 26-28  発行年： 2014年08月25日 
JST資料番号： L8462A  ISSN： 2758-1608  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ダイヤモンドライクカーボン(DLC)膜は自動車部品や生体材料などさまざまな分野で実用化が進められてきたコーティング膜である。一方,DLCに関する公設試験研究機関(公設試)の取組みとして,「DLC評価法の検討」が進められている。本稿では,DLC膜の密着性評価に関するラウンドロビンテストの概要を紹介する。1)試料;10種の成膜法により,ステンレス綱SUS304,高速工具鋼SKH51,Siウェハ上に成膜した。2)圧痕試験結果の概要;いずれの基板においてもほぼ同じ形態が観察され,試験場や機種の差による違いは認められなかった。3)スクラッチ試験結果の概要;スクラッチ痕,破壊形態はすべての試験機や種類に関係なくほぼ同じであった。AE信号の優位性は低い。4)圧痕試験とスクラッチ試験の相関;同一基板では両者間に相関が見られたため,同一基板,同一試験荷重の場合には密着性評価が可能と結論できる。

シソーラス用語： *表面改質 ,  表面処理 ,  *DLC膜 ,  ダイヤモンド状炭素 ,  評価試験 ,  *密着性 ,  *共同比較試験 ,  研究所 ,  基板 ,  オーステナイト系ステンレス鋼 ,  高合金鋼 ,  高速度鋼 ,  高炭素合金鋼 ,  ウエハ【IC】 ,  圧痕 ,  押込硬さ ,  引かき試験 ,  光学顕微鏡法 ,  形態 ,  相関 ,  分散【variance】 ,  *材料試験
準シソーラス用語： Rockwell硬さ ,  SKH51 ,  SUS304 ,  シリコンウエハ ,  スクラッチ試験 ,  ばらつき ,  ラウンドロビン試験 ,  研究機関 ,  相関性 ,  破壊形態

分類 (2件)： 炭素とその化合物  (YB02060D) ,  その他の材料の試験  (HB05000T)

引用文献 (1件)：

• 重本明彦:メカニカル・サーフェス・テック、15(2013)23.

タイトルに関連する用語 (8件)： 表面改質 ,  試験 ,  評価 ,  分析技術 ,  DLC ,  ラウンドロビンテスト ,  密着性 ,  評価方法