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J-GLOBAL ID：201402221306792324   整理番号：14A0094053

集束イオンビームにより処理された単結晶シリコンカンチレバーの破壊強度

Fracture strength analysis of single-crystalline silicon cantilevers processed by focused ion beam

著者 (5件)： TAKAHASHI Yoshimasa (Dep. of Mechanical Engineering, Kansai Univ., 3-3-35 Yamate-cho, Suita-shi, Osaka 564-8680, JPN) ,  KONDO Hikaru (Dep. of Mechanical Engineering, Kansai Univ., 3-3-35 Yamate-cho, Suita-shi, Osaka 564-8680, JPN) ,  NIIMI Hironobu (JEOL Ltd., SM Business unit, 1-2 Musashino, 3-Chome, Akishima, Tokyo 196-8558, JPN) ,  NOKUO Takeshi (JEOL Ltd., SM Business unit, 1-2 Musashino, 3-Chome, Akishima, Tokyo 196-8558, JPN) ,  SUZUKI Toshiaki (JEOL Ltd., IB Business unit, 1-2 Musashino, 3-Chome, Akishima, Tokyo 196-8558, JPN)
資料名： Sensors and Actuators. A. Physical  (Sensors and Actuators. A. Physical)
巻： 206  ページ： 81-87  発行年： 2014年02月01日 
JST資料番号： B0345C  ISSN： 0924-4247  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 集束イオンビームにより全体処理された単結晶Siマイクロ部品の破壊強度の性質を,その場ナノ機械的試験システムにより評価することに成功した。試験された試料すべての破壊開始は,試験システムの検出限界内で完全に脆弱である。様々な種類の(平滑化された/ノッチを付けられた)カンチレバー試料を用いることにより,{111}面に沿った破壊開始は,せん断応力成分の大きさにかかわらず主として臨界法線方向の応力成分により制御されることを示唆していた。FIB処理試料(σ_c=8.1GPa)の平均強度値は,ウェットエッチ処理された試料のそれとおおよそ同じ程度であり,一方,ドライエッチ処理された試料より大きいことが見出された。Copyright 2014 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *集束イオンビーム ,  ケイ素 ,  *片持梁 ,  *破壊強さ ,  剪断応力 ,  法線応力 ,  エッチング ,  ウェットエッチング ,  *単結晶シリコン ,  *機械的性質 ,  *強度

分類 (2件)： 材料試験  (HB02020U) ,  固体デバイス計測・試験・信頼性  (NC03040G)

タイトルに関連する用語 (4件)： 集束イオンビーム ,  単結晶シリコン ,  カンチレバー ,  破壊強度