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J-GLOBAL ID：201402221632626698   整理番号：14A0926488

光メタマテリアルを実現する注目の加工技術 パーティクルリソグラフィで作製したスプリットリング共振器と光メタマテリアル

著者 (3件)： 岡本敏弘 (徳島大) ,  谷川紘太 (徳島大) ,  原口雅宣 (徳島大)
資料名： Optronics  (Optronics)
号： 392  ページ： 70-74  発行年： 2014年08月10日 
JST資料番号： Y0019A  ISSN： 0286-9659  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 本稿では,直径約100nmのスプリットリング共振器(SRR)を比較的簡単につくり出すことに成功した,パーティクルリソグラフィ法を用いたSRRの作製について,その具体的な内容を手順(微粒子の分散→金属の斜め蒸着→金属のイオンミリング→微粒子の除去)に沿って解説した。さらに,作製したSRRが光波長域で磁気応答を示すこと(LC共振が励起可能であること)を実験によって確認したことを報告し,メタマテリアルの基本構造として期待できることを明らかにした。また,パーティクルリソグラフィ法を用いて作製した2次元配置のメタマテリアルに関して,現在,約1cm四方の広範囲にわたって比較的均一にSRRが分布したものをつくり出すことに成功しているが,光にとって均一媒質とみなすにはまだ密度が低く,今後,さらなる高密度化が求められることを説明した。

シソーラス用語： *光学材料 ,  *人工材料 ,  真空蒸着 ,  *リング共振器 ,  *電子ビームリソグラフィー ,  金属 ,  イオンエッチング ,  LC回路 ,  磁気双極子 ,  走査電子顕微鏡 ,  電子顕微鏡観察 ,  全反射 ,  スペクトル
準シソーラス用語： 斜め蒸着 ,  LC共振回路 ,  イオンミリング ,  スプリットリング共振器 ,  *メタマテリアル ,  散乱スペクトル

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  固体デバイス材料  (NC03020K)

タイトルに関連する用語 (4件)： メタマテリアル ,  注目 ,  作製 ,  スプリットリング共振器