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J-GLOBAL ID:201402222341060960   整理番号:14A0371278

周期的な非稠密円柱配列構造のボトムアップ形成

著者 (6件):
資料名:
巻: 61st  ページ: ROMBUNNO.19P-D6-12  発行年: 2014年03月03日 
JST資料番号: Y0054B  ISSN: 2436-7613  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 短報  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
シソーラス用語:
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分類 (1件):
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薄膜成長技術・装置 
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