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J-GLOBAL ID：201402223380012902   整理番号：14A1053577

ダイヤモンド状炭素膜の構造と電気特性の関係

Relationship between the structure and electrical characteristics of diamond-like carbon films

著者 (7件)： TAKABAYASHI Susumu (Res. Inst. of Electrical Communication, Tohoku Univ., 2-1-1 Katahira, Aoba-ku, Sendai 980-8577, JPN) ,  YANG Meng (Inst. of Multidisciplinary Res. for Advanced Materials, Tohoku Univ., 2-1-1 Katahira, Aoba-ku, Sendai 980-8577, JPN) ,  OGAWA Shuichi (Inst. of Multidisciplinary Res. for Advanced Materials, Tohoku Univ., 2-1-1 Katahira, Aoba-ku, Sendai 980-8577, JPN) ,  HAYASHI Hiroyuki (Inst. of Multidisciplinary Res. for Advanced Materials, Tohoku Univ., 2-1-1 Katahira, Aoba-ku, Sendai 980-8577, JPN) ,  JESKO Radek (Inst. of Multidisciplinary Res. for Advanced Materials, Tohoku Univ., 2-1-1 Katahira, Aoba-ku, Sendai 980-8577, JPN) ,  OTSUJI Taiichi (Res. Inst. of Electrical Communication, Tohoku Univ., 2-1-1 Katahira, Aoba-ku, Sendai 980-8577, JPN) ,  TAKAKUWA Yuji (Inst. of Multidisciplinary Res. for Advanced Materials, Tohoku Univ., 2-1-1 Katahira, Aoba-ku, Sendai 980-8577, JPN)
資料名： Journal of Applied Physics  (Journal of Applied Physics)
巻： 116  号： 9  ページ： 093507-093507-11  発行年： 2014年09月07日 
JST資料番号： C0266A  ISSN： 0021-8979  CODEN： JAPIAU  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

シソーラス用語： *DLC膜 ,  *構造特性 ,  *電気特性 ,  グロー放電 ,  誘電率 ,  絶縁破壊 ,  圧力効果 ,  Ramanスペクトル ,  クラスタ模型 ,  サイズ依存性 ,  構造モデル
準シソーラス用語： ダイヤモンド状薄膜 ,  圧力依存性

分類 (2件)： 半導体薄膜  (BK14040E) ,  炭素とその化合物  (YB02060D)

タイトルに関連する用語 (2件)： ダイヤモンド状炭素 ,  電気特性