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J-GLOBAL ID:201402223380012902   整理番号:14A1053577

ダイヤモンド状炭素膜の構造と電気特性の関係

Relationship between the structure and electrical characteristics of diamond-like carbon films
著者 (7件):
資料名:
巻: 116  号:ページ: 093507-093507-11  発行年: 2014年09月07日 
JST資料番号: C0266A  ISSN: 0021-8979  CODEN: JAPIAU  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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分類 (2件):
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半導体薄膜  ,  炭素とその化合物 
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