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J-GLOBAL ID:201402226783523337   整理番号:14A0657066

シリコン基板とガラス基板上におけるイオン液体イオン・ビームの照射

Irradiation of ionic liquid ion beams on silicon and glass substrates
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巻: 315  ページ: 234-239  発行年: 2013年11月15日 
JST資料番号: H0899A  ISSN: 0168-583X  資料種別: 逐次刊行物 (A)
発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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