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J-GLOBAL ID：201402226783523337   整理番号：14A0657066

シリコン基板とガラス基板上におけるイオン液体イオン・ビームの照射

Irradiation of ionic liquid ion beams on silicon and glass substrates

著者 (4件)： TAKEUCHI Mitsuaki (Kyoto Univ., Kyoto, JPN) ,  HAMAGUCHI Takuya (Kyoto Univ., Kyoto, JPN) ,  RYUTO Hiromichi (Kyoto Univ., Kyoto, JPN) ,  TAKAOKA Gikan H. (Kyoto Univ., Kyoto, JPN)
資料名： Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms  (Nuclear Instruments & Methods in Physics Research. Section B. Beam Interactions with Materials and Atoms)
巻： 315  ページ： 234-239  発行年： 2013年11月15日 
JST資料番号： H0899A  ISSN： 0168-583X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

タイトルに関連する用語 (5件)： シリコン基板 ,  ガラス基板 ,  イオン液体 ,  イオン ,  ビーム