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J-GLOBAL ID：201402226809302342   整理番号：14A1398245

アルゴン及びアルゴン含有プラズマでのOESスペクトル線強度比法

On the OES line-ratio technique in argon and argon-containing plasmas

著者 (5件)： SIEPA Sarah (Ruhr-Univ. Bochum, Bochum, DEU) ,  DANKO Stephan (Robert Bosch GmbH, Gerlingen-Schillerhoehe, DEU) ,  TSANKOV Tsanko V (Ruhr-Univ. Bochum, Bochum, DEU) ,  MUSSENBROCK Thomas (Ruhr-Univ. Bochum, Bochum, DEU) ,  CZARNETZKI Uwe (Ruhr-Univ. Bochum, Bochum, DEU)
資料名： Journal of Physics. D. Applied Physics  (Journal of Physics. D. Applied Physics)
巻： 47  号： 44  ページ： 445201,1-16  発行年： 2014年11月05日 
JST資料番号： B0092B  ISSN： 0022-3727  CODEN： JPAPBE  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： この論文では,太陽電池生産でのそれらの重要性により,水素およびシラン中のアルゴン含有放電のみならず純粋なアルゴン放電が研究された。純粋なアルゴン放電に対して,適切なスペクトル線強度比が衝突放射モデル(CRM)に独立な純粋に実験的研究で決定された。これらの研究の方法と結果が紹介される。そのとき,スペクトル線強度比が種々の条件下で容量結合プラズマを解析するために使用された。アルゴン-水素-シラン混合物に対して,個々のスペクトル線強度の使用は光学的設定の絶対較正を必要とする。較正ランプを使用する代わりに,新しい方法がここでは提案される。それは相対的な光学的較正と純粋なアルゴン放電で決定される結果のみを必要とする。

シソーラス用語： *プラズマ ,  アルゴン ,  *放電 ,  *発光分光法 ,  水素 ,  シラン ,  モデル
準シソーラス用語： 衝突放射モデル ,  容量結合プラズマ

分類 (1件)： 気体放電  (BJ03020T)

タイトルに関連する用語 (3件)： アルゴン ,  プラズマ ,  スペクトル線強度