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J-GLOBAL ID：201402228573401975   整理番号：14A0757523

アモルファスTiO_x薄膜のメモリスタ特性における酸素不定比性の影響

著者 (5件)： 倉千晴 (北大 大学院) ,  青木芳尚 (北大 大学院) ,  辻悦司 (北大 大学院) ,  永田晋二 (東北大 金属材料研) ,  幅崎浩樹 (北大 大学院)
資料名： 日本化学会講演予稿集  (日本化学会春季年会講演予稿集)
巻： 94th  号： 3  ページ： 1000  発行年： 2014年03月12日 
JST資料番号： S0493A  ISSN： 0285-7626  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 本研究では,従来の結晶性TiO2薄膜に代わり,反応性スパッタを用いて酸素の流量を制御し,作製した酸素不定比性アモルファス酸化チタン薄膜について,金属/薄膜/金属素子を作成し,そのメモリスタ挙動を調べた。(著者抄録)

シソーラス用語： *回路部品 ,  インダクタ ,  コンデンサ ,  抵抗器 ,  *固体素子 ,  *電気抵抗 ,  *酸化チタン ,  非晶質 ,  *薄膜 ,  反応性スパッタリング ,  チタン ,  酸素 ,  蒸着 ,  直流 ,  透過型電子顕微鏡 ,  Rutherford散乱分光法 ,  X線光電子分光法 ,  分圧 ,  圧力効果 ,  *電流電圧特性 ,  曲線 ,  ヒステリシス ,  酸化物薄膜 ,  酸素分圧
準シソーラス用語： DC蒸着法 ,  RBS分光法 ,  XPS分析 ,  ヒステリシス曲線 ,  *メモリスタ ,  圧力依存性 ,  抵抗素子

分類 (4件)： LCR部品  (NA05030D) ,  塩基,金属酸化物  (CD01030Z) ,  酸化物薄膜  (BK14050P) ,  電気化学一般  (CB07010N)

タイトルに関連する用語 (6件)： アモルファス ,  TiOx ,  薄膜 ,  メモリスタ ,  酸素 ,  不定比性