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J-GLOBAL ID:201402228573401975   整理番号:14A0757523

アモルファスTiOx薄膜のメモリスタ特性における酸素不定比性の影響

著者 (5件):
資料名:
巻: 94th  号:ページ: 1000  発行年: 2014年03月12日 
JST資料番号: S0493A  ISSN: 0285-7626  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 短報  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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本研究では,従来の結晶性TiO2薄膜に代わり,反応性スパッタを用いて酸素の流量を制御し,作製した酸素不定比性アモルファス酸化チタン薄膜について,金属/薄膜/金属素子を作成し,そのメモリスタ挙動を調べた。(著者抄録)
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分類 (4件):
分類
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LCR部品  ,  塩基,金属酸化物  ,  酸化物薄膜  ,  電気化学一般 

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