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J-GLOBAL ID：201402229193910814   整理番号：14A0083854

分光偏光解析法によって調べられた酸化チタン薄膜の光学的性質の温度依存性

Temperature-Dependent Optical Properties of Titanium Oxide Thin Films Studied by Spectroscopic Ellipsometry

著者 (12件)： ZHANG Fan (Fudan Univ., Shanghai, CHN) ,  ZHANG Rong-Jun (Fudan Univ., Shanghai, CHN) ,  ZHANG Dong-Xu (Fudan Univ., Shanghai, CHN) ,  WANG Zi-Yi (Fudan Univ., Shanghai, CHN) ,  XU Ji-Ping (Fudan Univ., Shanghai, CHN) ,  ZHENG Yu-Xiang (Fudan Univ., Shanghai, CHN) ,  CHEN Liang-Yao (Fudan Univ., Shanghai, CHN) ,  HUANG Ren-Zhong (Shenyang Normal Univ., Shenyang, CHN) ,  SUN Yan (Shanghai Inst. Technical Physics, Chinese Acad. Sci., Shanghai, CHN) ,  CHEN Xin (Shanghai Inst. Technical Physics, Chinese Acad. Sci., Shanghai, CHN) ,  MENG Xiang-Jian (Shanghai Inst. Technical Physics, Chinese Acad. Sci., Shanghai, CHN) ,  DAI Ning (Shanghai Inst. Technical Physics, Chinese Acad. Sci., Shanghai, CHN)
資料名： Applied Physics Express  (Applied Physics Express)
巻： 6  号： 12  ページ： 121101.1-121101.4  発行年： 2013年12月25日 
JST資料番号： F0599C  ISSN： 1882-0778  CODEN： APEPC4  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 電子ビーム蒸着方法を,アナターゼフェーズのTiO₂薄膜をシリコン基板上に作成するために用いた。当該薄膜の光学定数を300~800nmのスペクトル域で分光偏光解析法で,293~533Kの温度範囲で調べた。上昇温度に従って,屈折率は明らかに減少した。この現象を解明するために熱膨張と電子-格子相互作用を導入した。減衰係数スペクトルの吸収端は高い温度で赤方偏移を示した。それは,熱で駆動されたバンドギャップの収縮,および光の電子遷移の電子寿命の損失の結果と考えられる。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *偏光解析法 ,  *酸化チタン ,  *光学的性質 ,  温度依存性 ,  *電子ビーム蒸着 ,  アナターゼ ,  屈折率 ,  熱膨張 ,  電子-フォノン相互作用
準シソーラス用語： 電子-格子相互作用 ,  分光偏光解析法

分類 (2件)： 無機化合物の可視・紫外スペクトル  (BM08084P) ,  偏光測定と偏光計  (BD07050K)

タイトルに関連する用語 (4件)： 分光偏光解析法 ,  酸化チタン薄膜 ,  光学的性質 ,  温度依存性