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J-GLOBAL ID：201402231180661453   整理番号：14A0393695

マイクロマシン技術を用いた小型光学式マルチガスセンサ[I]-超厚膜樹脂を用いた高精度なマイクロ光学ベンチの製作-

Compact Optical Multi-gas Sensors using Micromachining Technology [I]-Fabrication of High-precision Micro-optical Bench using Ultra-thick Film Resin-

著者 (12件)： 伊藤将寛 (香川大) ,  武田知也 (香川大) ,  鈴木孝明 (香川大) ,  高尾英邦 (香川大) ,  大平文和 (香川大) ,  下川房男 (香川大) ,  筒井靖之 (アオイ電子) ,  林宏樹 (アオイ電子) ,  今野隆 (アオイ電子) ,  朝日一平 (四国総合研) ,  杉本幸代 (四国総合研) ,  二宮英樹 (四国総合研)
資料名： 電気学会論文誌 E  (IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines)
巻： 133  号： 6  ページ： 237-242  発行年： 2013年06月01日 
JST資料番号： L3098A  ISSN： 1341-8939  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 本研究では,センサの小型化とミリオーダーの光学部品の簡易な実装を目的として,マイクロマシン技術により,ミリオーダーの光学部品をアラインメントフリーで実装可能とする超厚膜樹脂(厚さ:約2nm)を用いた,加工精度±10μm以内のマイクロ光学ベンチを提案し,その製作を実現した。また,このマイクロ光学ベンチを用いることで,光学式マルチガスセンサの小型化(サイズ:3cm角)とフェルール付きファイバやボールレンズ等の各種光学部品のアラインメントフリーでの実装を可能とした。

シソーラス用語： *小型 ,  *ガスセンサ ,  *マイクロマシニング ,  台 ,  *厚膜 ,  重合体 ,  光学的測定 ,  工作精度 ,  フォトレジスト ,  露光 ,  最適化 ,  膜厚
準シソーラス用語： SU-8 ,  マルチガスセンサ ,  光学ベンチ ,  超厚膜 ,  超厚膜樹脂

分類 (2件)： 分析機器  (CC02020S) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (6件)：

• LI, Y. Monolithic CMOS multi-transducer gas sensor microsystem for organic and inorganic analyzes. Sensors and Actuators B : Chemical. 2007, 126, 2, 431-440
• 杉本幸代. ラマン散乱を用いた光学式ガスセンサの基礎検討. 第29回レーザーセンシングシンポジウム, 2011. 2011, 66-67
• LIN, L. Y. Free-space micromachined optical switches for optical networking. IEEE Journal of Selected Topics in Quantum Electronics. 1999, 5, 1, 4-9
• YU, K. Micromachined Fourier transform spectrometer on silicon optical bench platform. Sensors and Actuators A : Physical. 2006, 130-131, 523-530
• SUZUKI, T. Rapid fabrication process for high aspect-ratio embedded microchannels with orifices using a single SU-8 layer on a mask. Technical digest of 19th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS2006). 2006, 346-349

タイトルに関連する用語 (7件)： マイクロマシン技術 ,  光学 ,  マルチ ,  ガスセンサ ,  厚膜 ,  光学ベンチ ,  製作