文献

J-GLOBAL ID：201402232258469330   整理番号：14A0211569

MEMSダイヤモンド半球共振器

A MEMS diamond hemispherical resonator

著者 (6件)： BERNSTEIN J J (Charles Stark Draper Lab., MA, USA) ,  BANCU M G (Charles Stark Draper Lab., MA, USA) ,  COOK E H (Charles Stark Draper Lab., MA, USA) ,  CHAPARALA M V (Charles Stark Draper Lab., MA, USA) ,  TEYNOR W A (Charles Stark Draper Lab., MA, USA) ,  WEINBERG M S (Charles Stark Draper Lab., MA, USA)
資料名： Journal of Micromechanics and Microengineering  (Journal of Micromechanics and Microengineering)
巻： 23  号： 12  ページ： 125007,1-8  発行年： 2013年12月 
JST資料番号： W1424A  ISSN： 0960-1317  CODEN： JMMIEZ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 半球共振器ジャイロスコープ(HRG)は機械的ジャイロスコープの中で最も正確で頑強である。本稿では,新しい高温ガラス基板を使ってMEMSダイヤモンド半球共振器を製作した。このガラス(Corning1715)はSiやダイヤモンドと熱膨張率(CTE)がほぼ等しく,アニール温度が866°Cと高い。さらにこの材料はHF/HClにより等方エッチングができる。この性質を使って完全に対称性のガラス半球をエッチングにより製作し,その表面にチタンとダイヤモンドを蒸着して3D MEMS半球共振器が製作できた。基本モード周波数は<0.1%に整合した。

シソーラス用語： *ジャイロスコープ ,  *MEMS ,  ダイヤモンド ,  半球 ,  *共振器 ,  熱膨張係数 ,  等方性 ,  エッチング ,  ガラス ,  蒸着 ,  対称性 ,  基準モード
準シソーラス用語： *MEMSジャイロスコープ ,  化学エッチング ,  基本モード ,  熱膨張率

分類 (2件)： 共振器  (NC04050Y) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (4件)： MEMS ,  ダイヤモンド ,  半球 ,  共振器