不純物イオンによる物理スパッタリングに及ぼす傾斜磁場の速度論的影響

文献

J-GLOBAL ID：201402234151935764 整理番号：14A0005243

Kinetic Effects of Inclined Magnetic Field on Physical Sputtering by Impurity Ions

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資料名：
巻： 2012-2013 ページ： 398 発行年： 2013年11月
JST資料番号： J0552A ISSN： 0917-1185 資料種別：逐次刊行物 (A)
発行国：日本 (JPN) 言語：英語 (EN)

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