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J-GLOBAL ID：201402237524205639   整理番号：14A0962188

MSE法を用いたDLC膜の表面強度特性の評価 -水素含有率と表面強度の関係-

The Evaluation of the Surface Strength of DLC Films by MSE Method -Relation Between Hydrogen Content and Surface Strength-

著者 (10件)： 岩井善郎 (福井大学) ,  坂野薫 (福井大学) ,  朴鐘輝 (福井大学) ,  柴田賢一 (福井大学) ,  木幡護 (福井大学) ,  神田一隆 (福井工業大学) ,  宮島敏郎 (富山県立大学) ,  橋本賢樹 (福井県工業技術センター) ,  石神龍哉 ((公財) 若狭湾エネルギー研究センター) ,  安田啓介 ((公財) 若狭湾エネルギー研究センター)
資料名： 精密工学会誌(Web)  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering (Web))
巻： 80  号： 8  ページ： 771-776 (J-STAGE)  発行年： 2014年 
JST資料番号： U0462A  ISSN： 1882-675X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ダイヤモンドライクカーボン(DLC)膜は,優れた諸特性を有する硬質薄膜であり,切削工具,金型,機械摺動部品,医療器具等へ適用されている。DLC膜は,成膜の原料や照射されるイオンおよびエネルギの条件等によって特性が決定される。DLC膜の評価法としてマイクロスラリージェットエロージョン(MSE)試験がある。本論文では,異なる成膜方法,成膜条件で作製されたDLC膜を対象にMSE試験を行い,得られたDLC膜の損傷速度と水素含有率との関係を各種評価(押し込み硬さ,ラマン分光分析,表面観察)結果を勘案して明らかにした。続いてMSE法のDLC膜評価法としての有効性を明らかにした。

シソーラス用語： *ダイヤモンド状炭素 ,  *表面性状 ,  *強度 ,  噴流 ,  浸食 ,  水素 ,  マイクロジェット ,  スラリーエロージョン

分類 (2件)： セラミック材料  (HC02040T) ,  潤滑一般  (QB02010S)

引用文献 (16件)：

• 1) 斎藤秀俊:DLC膜ハンドブック, NTS,(2006) 131.
• 2) 安藤淳二,中西和之:Si含有DLC膜のトライボロジー特性とその応用,トライボロジスト, 52, 2 (2007) 120.
• 3) 加納眞:高硬質炭素膜のトライボロジーの研究動向,トライボロジスト, 58, 8 (2013) 524.
• 4) 大竹尚登,平塚傑工,齋藤秀俊:DLC膜の規格化について,トライボロジスト, 58, 8 (2013) 538.
• 5) Y. Iwai, T. Honda, H. Yamada, T. Matsubara, M. Larsson, S. Hogmark : Evaluation of wear resistance of thin hard coatings by a new solid particle impact test, Wear, 251, (2001) 861.

タイトルに関連する用語 (5件)： DLC膜 ,  強度特性 ,  評価 ,  水素 ,  含有率