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J-GLOBAL ID:201402238967313295   整理番号:14A1101493

アンチモン添加による新規窒化物半導体混晶の創製-サーファクタント効果の初期的検討-

著者 (7件):
資料名:
号: 18  ページ: 57-61  発行年: 2013年03月31日 
JST資料番号: L6402A  ISSN: 1344-8099  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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窒化物半導体は,AlN,GaN,InN,およびそれらの混晶であり,LED電球を構成する青色発光ダイオードの構成材料である。ここでは,Sbを添加した新規窒化物半導体混晶の創製を提案し,Sbによる期待される効果をGaN結晶に取り込まれるSb量に応じて概説した。この新規混晶が創製されれば,窒化物半導体における二つの課題,すなわちワイドギャップ高品質ヘテロ接合とワイドギャップ高濃度p型層の実現に大きく近付く可能性を有する。さらに,GaNSb混晶の初期的検討として,Sbを添加したGaN結晶の成長温度依存性を検討した。その結果,従来の成長温度より大幅に低い成長温度において,平坦なGaN膜が形成されることが分かった。
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分類 (1件):
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半導体薄膜 

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