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J-GLOBAL ID：201402245616921597   整理番号：14A0125051

ナノイオンプローブによる新規顕微計測技術の展開 走査型ヘリウムイオン顕微鏡による先端ナノマテリアル評価技術の開発と共用

著者 (1件)： 大西桂子 (物質・材料研究機構)
資料名： 顕微鏡  (Microscopy)
巻： 48  号： 3  ページ： 154-158  発行年： 2013年12月30日 
JST資料番号： Y0541A  ISSN： 1349-0958  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ヘリウムイオン顕微鏡は,電子線の代わりにナノスケールに集束されたヘリウムイオンビームを試料表面上で走査するSEM類似の顕微鏡である。走査型ヘリウムイオン顕微鏡を紹介し,様々なナノマテリアルの観察および加工例について示した。顕微鏡の概略図を示し,二次電子像のエッジ解像度や電子像のラインプロファイルを説明した。高配向熱分解黒鉛,タングステン-アルミニウム合金の樹状結晶,陽極酸化多孔質アルミナなどの観測事例を示した。また,加工事例としてAl板でのビットマップ画像入力による微細加工やグラフェンへの長方形入力による微細加工も示した。一般的な走査型顕微鏡と比較して,数十倍の分解能があり,焦点深度が深く,物質のコントラストが付きやすいなど,ナノ表面性状や組成の観測に適した装置である。

シソーラス用語： アルミニウム合金 ,  高配向性熱分解グラファイト ,  イオンプローブ ,  アルミナ ,  多孔質体 ,  イオンビーム ,  タングステン ,  コントラスト ,  マイクロプローブ ,  *顕微鏡 ,  *イオン顕微鏡法 ,  *ナノ構造 ,  先端技術 ,  微細加工 ,  *画像分析 ,  焦点深度 ,  高分解能 ,  *ナノ材料 ,  *イオン顕微鏡 ,  ナノスケール ,  ナノプローブ ,  多孔質アルミナ ,  評価技術
準シソーラス用語： *ナノマテリアル ,  高配向熱分解黒鉛

分類 (2件)： 電子顕微鏡,イオン顕微鏡  (BD02050B) ,  図形・画像処理一般  (JE04010I)

引用文献 (17件)：

• 1)Onishi, K. and Fujita, D.: J. Vac. Soc. Jpn., 51, 165-168 (2008)
• 2)Onishi, K. and Fujita, D.: J. Vac. Soc. Jpn., 53, 357-360 (2010)
• 3)Onishi, K. and Fujita, D.: Analytical Sciences, 27, 157-161 (2011)
• 4)Tondare, V.N.: J. Vac. Sci. Technol., A23, 1498-1508 (2005)
• 5)畑 浩一:顕微鏡,46,206-210(2011)

タイトルに関連する用語 (10件)： イオンプローブ ,  計測 ,  展開 ,  走査型 ,  ヘリウム ,  イオン顕微鏡 ,  ナノマテリアル ,  評価 ,  開発 ,  共用