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J-GLOBAL ID：201402247916438610   整理番号：14A1234160

GaAs/AlAs多層の認められた参照物質からの厚みと密度を使ったX線反射法における試料アラインメントの決定

Determining sample alignment in x-ray reflectometry using thickness and density from GaAs/AlAs multilayer certified reference materials

著者 (4件)： WINDOVER D (National Inst. of Standards and Technol., MD, USA) ,  GIL D L (National Inst. of Standards and Technol., MD, USA) ,  AZUMA Y (National Metrology Inst. of Japan, Tsukuba, JPN) ,  FUJIMOTO T (National Metrology Inst. of Japan, Tsukuba, JPN)
資料名： Measurement Science and Technology  (Measurement Science and Technology)
巻： 25  号： 10  ページ： 105007,1-8  発行年： 2014年10月 
JST資料番号： C0354C  ISSN： 0957-0233  CODEN： MSTCEP  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 高品質X線反射法からの入射角度情報を意図的にシフトし,同一の強度モデルを使って,シフトしたデータセットを精密化して,角度ミスアラインメントがパラメータ推定に及ぼす効果を評価した。GaAs基板上の多層GaAs/AlAsの認定された参照物質に対して層厚と密度の変動と角度ミスアラインメントを関係付けるキャリブレーション曲線を開発した。この構造の分っている厚みと密度を使ういくつかの方法の妥当性とロバスト性を試験し,装置のアラインメントをキャリブレートした。埋込んだAlAs,GaAs層からの測定ミスアラインメントで最高の感度と線形性を見いだした。

シソーラス用語： *X線反射 ,  *ヒ化ガリウム ,  ヒ化アルミニウム ,  化合物半導体 ,  半導体薄膜 ,  多層膜 ,  *アラインメント ,  入射角 ,  キャリブレーション ,  標準物質 ,  不確実性 ,  不整合 ,  測定の不確かさ
準シソーラス用語： 測定不確実性 ,  ミスアラインメント

分類 (1件)： X線回折法  (BK01020I)

タイトルに関連する用語 (8件)： GaAs ,  AlAs ,  多層 ,  厚み ,  密度 ,  X線反射 ,  試料 ,  アラインメント