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J-GLOBAL ID：201402253784614198   整理番号：14A1280740

渦Arプラズマ渦ジェットを使用した大気TPCVDによる光触媒酸化チタン膜の堆積

Photo-catalytic titanium oxide film deposition by atmospheric TPCVD using vortex Ar plasma jet

著者 (4件)： ANDO Yasutaka (Div. of Renewable Energy and Environment, Ashikaga Inst. of Technol., 268-1 Omae, Ashikaga, Tochigi 326-8558, JPN) ,  NODA Yoshimasa (Collaborative Res. Center, Ashikaga Inst. of Technol., 268-1 Omae, Ashikaga, Tochigi 326-8558, JPN) ,  KOBAYASHI Akira (Malaysia Japan International Inst. of Technol., Univ. of Technol. Malaysia, Jalan Semarak, 54100 Kuala Lumpur, Malaysia) ,  KOBAYASHI Akira (Graduate School of Eng., Osaka Univ., 2-1 Yamadaoka, Suita, Osaka 565-0871, JPN)
資料名： Vacuum  (Vacuum)
巻： 110  ページ： 190-195  発行年： 2014年12月 
JST資料番号： E0347A  ISSN： 0042-207X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 渦プラズマジェットを発生させるために渦流生成ノズル(渦ノズル)をプラズマトーチの先端に装備した。その結果,渦ノズルの装備によりプラズマトーチランから解放されたプラズマジェットは渦ノズルの内壁に沿って走り,渦ノズル中で渦プラズマジェットに変化した。酸化チタン膜堆積に関して,一様な厚さ分布をもつアナターゼの豊富な酸化チタン膜が304ステンレス鋼基板上に得られた。堆積距離30mmのときの中心における膜の堆積速度は約8μm/分であった。さらに,アナターゼに富んだ膜は親水性を示し,膜上のメチレンブルーの液滴はメチレンブルーの濡れ性及び脱色試験の場合UV照射により脱色されたからアナターゼに富んだ膜は光触媒特性をもつことが分かった。特に,堆積距離30mmで堆積した膜の場合,メチレンブルーの液滴は48時間のUV照射により完全に脱色された。これらの結果から,この方法はTPCVDによる一様な膜堆積に高い可能性をもっていることが分かった。Copyright 2014 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： プラズマトーチ ,  ノズル ,  *プラズマジェット ,  *渦流 ,  *熱プラズマ ,  *プラズマCVD ,  *酸化チタン ,  化合物半導体 ,  半導体薄膜 ,  *光触媒 ,  アナターゼ型結晶 ,  MOCVD ,  オーステナイト系ステンレス鋼 ,  親水性 ,  塩基性染料 ,  光触媒反応 ,  *接触分解 ,  触媒活性 ,  *廃水処理 ,  窒素複素環化合物 ,  芳香族アミン ,  スルホニウム ,  硫黄複素環化合物 ,  芳香族縮合化合物 ,  第三アミン
準シソーラス用語： 304ステンレス鋼 ,  *二酸化チタン ,  *渦プラズマジェット ,  光触媒活性 ,  *熱プラズマCVD

分類 (4件)： プラズマ流,プラズマの電磁流体力学  (BJ02040I) ,  酸化物薄膜  (BK14050P) ,  光化学一般  (CB08010U) ,  下水,廃水の化学的処理  (SC03050W)

物質索引 (1件)： メチレンブルー

タイトルに関連する用語 (8件)： 渦 ,  Ar ,  プラズマ ,  ジェット ,  大気 ,  光触媒酸化 ,  チタン膜 ,  堆積