文献

J-GLOBAL ID：201402254009239840   整理番号：14A0422316

多チャンネル微小電極アレイの作製とその電極特性評価

著者 (6件)： 山本悠大 (北大 工) ,  伏見公志 (北大 大学院) ,  中西貴之 (北大 大学院) ,  長谷川靖哉 (北大 大学院) ,  齋藤美紀子 (早稲田大) ,  本間敬之 (早稲田大)
資料名： 表面技術協会講演大会講演要旨集
巻： 129th  ページ： 210  発行年： 2014年03月03日 
JST資料番号： Y0050A  ISSN： 0917-2947  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *微小電極 ,  金 ,  フォトリソグラフィー ,  めっき ,  真空蒸着 ,  *パターン形成 ,  *サイクリックボルタンメトリー ,  *微小電極アレイ
準シソーラス用語： 光リソグラフィー

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  電気化学的操作・装置一般  (XE02010I)

タイトルに関連する用語 (5件)： 多チャンネル ,  微小電極アレイ ,  作製 ,  電極特性 ,  評価