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J-GLOBAL ID：201402254941329776   整理番号：14A0442322

プラズマプロセッシングでの特性インピーダンスを用いた実用的なモニタリングシステム

Note: Practical monitoring system using characteristic impedance measurement during plasma processing

著者 (6件)： MOTOMURA T. (Measurement Solution Res. Center, National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., Tosu, Saga 841-0052, JPN) ,  KASASHIMA Y. (Measurement Solution Res. Center, National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., Tosu, Saga 841-0052, JPN) ,  FUKUDA O. (Measurement Solution Res. Center, National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., Tosu, Saga 841-0052, JPN) ,  UESUGI F. (Measurement Solution Res. Center, National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., Tosu, Saga 841-0052, JPN) ,  KURITA H. (RF Measuring Unit Business Div., ADVANTEST Corp., Ora, Gunma 370-0718, JPN) ,  KIMURA N. (RF Measuring Unit Business Div., ADVANTEST Corp., Ora, Gunma 370-0718, JPN)
資料名： Review of Scientific Instruments  (Review of Scientific Instruments)
巻： 85  号： 2  ページ： 026103-026103-3  発行年： 2014年02月 
JST資料番号： D0517A  ISSN： 0034-6748  CODEN： RSINAK  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： プラズマプロセッシングの際の異常を検出するために特性インピーダンスモニタリング(CIM)方法を開発した。本方法の利点は,量産装置に測定システムを据え付ける構造の単純性だけでなく,高感度とリアルタイムモニタリングである。時間遅れなくリアルタイムモニタリングするために,このCIMシステムは,通常の高電圧・電流プロープに変えて,方向性結合器と新たに開発したベクトルプロセスシステムで構成されている。本システムはプラズマ生成中でも特性インピーダンスと負荷インピーダンスの時間変化を測定できる。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *プラズマ処理 ,  *特性インピーダンス ,  自動監視 ,  方向性結合器 ,  ベクトルプロセッサ ,  実時間処理 ,  検出 ,  整合器 ,  *プラズマ診断
準シソーラス用語： リアルタイムモニタリング ,  異常検出

分類 (1件)： プラズマ診断  (BJ02090L)

タイトルに関連する用語 (4件)： プラズマ ,  プロセッシング ,  特性インピーダンス ,  モニタリングシステム