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J-GLOBAL ID：201402259081072405   整理番号：14A0312784

ウエハステージの次世代運動制御のためのシステム同定とロバスト制御の結合

Connecting System Identification and Robust Control for Next-Generation Motion Control of a Wafer Stage

著者 (6件)： OOMEN Tom (Eindhoven Univ. Technol., Eindhoven, NLD) ,  VAN HERPEN Robbert (Eindhoven Univ. Technol., Eindhoven, NLD) ,  QUIST Sander (Eindhoven Univ. Technol., Eindhoven, NLD) ,  VAN DE WAL Marc (Philips Applied Technol., Eindhoven, NLD) ,  BOSGRA Okko (Eindhoven Univ. Technol., Eindhoven, NLD) ,  STEINBUCH Maarten (Eindhoven Univ. Technol., Eindhoven, NLD)
資料名： IEEE Transactions on Control Systems Technology  (IEEE Transactions on Control Systems Technology)
巻： 22  号： 1  ページ： 102-118  発行年： 2014年01月 
JST資料番号： W0515A  ISSN： 1063-6536  CODEN： IETTE2  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

シソーラス用語： 検証 ,  運動制御 ,  *ロバスト制御 ,  *システム同定 ,  ウエハ【IC】 ,  モデル検証

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (6件)： ウエハ ,  ステージ ,  次世代 ,  運動制御 ,  システム同定 ,  ロバスト制御