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J-GLOBAL ID：201402261264347289   整理番号：14A1154403

ポリエチレンテレフタレート(PET)をターゲットとして高周波スパッタリングにより成膜した有機薄膜の揮発性有機化合物の吸着特性

Adsorption Properties of an Organic Thin Film Prepared by an R.F. Sputtering with a Poly(Ethylene Terephthalate) (PET) Target for Volatile Organic Compounds (VOCs)

著者 (4件)： 大西康貴 (東海大学総合理工学研究科) ,  野田和俊 ((独)産業技術総合研究所 環境管理技術研究部門) ,  岩森暁 (東海大学総合理工学研究科) ,  岩森暁 ((独)産業技術総合研究所 環境管理技術研究部門)
資料名： 電気学会論文誌 E  (IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines)
巻： 134  号： 9  ページ： 278-283 (J-STAGE)  発行年： 2014年 
JST資料番号： L3098A  ISSN： 1341-8939  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 塗料用溶剤に含まれる揮発性有機化合物(VOC)が作業員に健康被害を及ぼすことが問題になっており,その被害防止のためVOCの高感度な検出方法が求められている。検出方法の一つに水晶振動子(QCM)を用いる方法がある。本稿では,フッ素系有機薄膜であるスパッタPTFE薄膜と,フッ素を含まない有機系薄膜としてポリエチレンテレフタレート(PET)薄膜を高周波スパッタリング法によりQCMの金電極上に形成した。そして,これらの薄膜の種々のVOCガス(アセトアルデヒドやトルエンなど)や水に対するガス吸着特性を,測定環境温度,吸着量に着目して評価した。その結果,1)PET薄膜のVOC吸着量はPTFEよりも低く,PET薄膜のVOC吸着感度はPTFE薄膜の1/2以下,2)測定環境温度の上昇によりガス吸着量は減少する,などが明らかになり,PET薄膜のQCMガスセンシング用のリファレンスセンサとしての使用可能性が示された。

シソーラス用語： *揮発性有機化合物 ,  水晶振動子 ,  RFスパッタリング ,  薄膜成長 ,  *ポリエチレンテレフタレート ,  ポリテトラフルオロエチレン ,  リスク ,  化学吸着 ,  *ガスセンサ ,  水 ,  高分子薄膜 ,  脂肪族アルデヒド ,  アルキルベンゼン
準シソーラス用語： QCMセンサ

分類 (3件)： 有機化合物の薄膜  (BK14070L) ,  その他の性質・試験  (YH02060V) ,  化学プロセスの測定,監視,計装  (XC02030Y)

物質索引 (2件)： アセトアルデヒド ,  トルエン

引用文献 (23件)：

• (1) Y. Nakayama and T. Matsuda : “In Situ Observation of Dithiocarbamate-Based Surface Photograft Copolymerization Using Quartz Crystal Microbalance”, Macromolecules, Vol. 32, pp. 5405-5410 (1999)
• (2) D. Lianga, J. Zhang, L. Tanguy, A. Ernst, P. Koltay, and R. Zengerle : “Nanoliter droplet characterization using vibrating crystal sensor with surface-attached polymer hydrogel coating”, Procedia Engineering, Vol. 47, pp. 1017-1020 (2012)
• (3) G. Li, J. Zheng, X. Ma, Y. Sun, J. Fu, and G. Wu : “Development of QCM Trimethylamine Sensor Based on Water Soluble Polyaniline”, Sensors, Vol. 7, pp. 2378-2388 (2007)
• (4) K. Reimhult, K. Yoshimatsu, K. Risveden, S. Chen, L. Ye, and A. Krozer : “Characterization of QCM sensor surfaces coated with molecularly imprinted nanoparticles”, Biosensors and Bioelectronics, Vol. 23, pp. 1908-1914 (2008)
• (5) V. Syritski, J. Reut, A. Öpik, and K. Idla : “Environmental QCM sensors coated with polypyrrole”, Synth. Met., Vol. 102, pp. 1326-1327 (1999)

タイトルに関連する用語 (8件)： ポリエチレンテレフタレート ,  PET ,  ターゲット ,  高周波スパッタリング ,  成膜 ,  有機薄膜 ,  揮発性有機化合物 ,  吸着特性