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J-GLOBAL ID：201402267278202990   整理番号：14A0278191

プラズマプロセスを用いた炭素材料合成の実際と産業利用における課題 3.プラズマCVDによる単結晶ダイヤモンド合成の現状と課題

著者 (1件)： 山田英明 (産業技術総合研 ユビキタスエネルギー研究部門)
資料名： プラズマ・核融合学会誌  (Journal of Plasma and Fusion Research)
巻： 90  号： 2  ページ： 152-158  発行年： 2014年02月25日 
JST資料番号： G0114A  ISSN： 0918-7928  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 複数の電気的・熱的・機械的・光学的物性値が物質中最高水準である単結晶ダイヤモンドは,広範な応用が期待されているものの,インチサイズ級の大面積を有するバルク結晶作製が容易でない点が,製造コストを押し上げ,幅広い実用化のネックの一つとなっている。プラズマを用いて合成可能であることが見出されてから既に数10年経った今でも,通常の条件ではφ2インチ(≒50mm)の領域ですら,現実的な合成速度や品質を維持して合成された報告例はほとんどない。本章では,研究開発の背景を説明し,プラズマを用いた単結晶成長技術の現状と,更なる合成効率および結晶品質の向上や,機能性付与における課題を述べる。(著者抄録)

シソーラス用語： *プラズマCVD ,  *ダイヤモンド ,  結晶成長 ,  製造原価 ,  品質 ,  ウエハ【IC】
準シソーラス用語： *単結晶ダイアモンド ,  *マイクロ波プラズマCVD ,  結晶品質

分類 (1件)： その他の無機化合物の結晶成長  (BK13060T)

タイトルに関連する用語 (6件)： プラズマプロセス ,  炭素材料 ,  産業利用 ,  プラズマCVD ,  単結晶ダイヤモンド ,  現状