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J-GLOBAL ID：201402272812251793   整理番号：14A0140428

プラスチック表面のVUV光活性化による低温接合

著者 (1件)： 杉村博之 (京大 大学院工学研究科)
資料名： 月刊Material Stage  (マテリアルステージ)
巻： 13  号： 8  ページ： 62-64  発行年： 2013年11月10日 
JST資料番号： L5969A  ISSN： 1346-3926  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 最近軽量で破損しにくく,大量生産によるコストダウンが可能な合成樹脂基板を用いたマイクロ流路チップの開発が盛んである。中でも非晶質で優れた光学特性を持つポリシクロオレフィン(COP)の応用が期待されている。しかしCOPは疎水性であるために濡れ性や接着性が低く,その点の改良が求められている。その手段として真空紫外光(VUV)照射による酸素増感(生成したオゾンによってアシストされた)表面改質について検討した。これによってCOP基板に表面改質層が形成され,ガラス転移点以下の温度で無接着剤結合が可能になった。この手法をマイクロチップ製造に応用する場合の設備,作業手順,加工条件,各ステップで起こる物理的及び化学的変化,プロセス制御因子と条件などについて解説した。

シソーラス用語： *チャネル ,  *チップ ,  *ポリアルケナマ ,  非晶質 ,  光学材料 ,  接着 ,  *接着強さ ,  *表面処理 ,  *紫外線 ,  *真空 ,  紫外線照射 ,  化学的加工 ,  表面改質 ,  酸素効果比 ,  オゾン分解 ,  加工 ,  接合 ,  作業工具 ,  方式 ,  加工条件 ,  過程 ,  化学反応 ,  プロセス制御 ,  *マイクロチャネル
準シソーラス用語： *マイクロ流路 ,  *マイクロチップ ,  *ポリシクロオレフィン ,  *真空紫外光 ,  親水化 ,  オゾン化【酸化作用】 ,  低温加工 ,  低温接合 ,  界面接着 ,  加工工具 ,  作業手順 ,  物理過程

分類 (4件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  電気・電子部品一搬  (NA05010H) ,  機械加工,仕上げ一般  (YH04111G) ,  接着  (WC07020V)

引用文献 (7件)：

• 増原極微変換プロジェクト編;マイクロ化学:微小空間の反応を操る(化学同人,1993)
• 化学とマイクロ・ナノシステム研究会監修;マイクロ化学チップの技術と応用(丸善,2004)
• 吉田潤一監修;マイクロリアクターの開発と応用(シーエムシー出版,2008)
• Y. -J. Kim, K. -H. Lee, H. Sano, J. Han, T. Ichii, K. Murase, and H. Sugimura ; Jpn. J. Appl. Phys., 47, 307 (2008)
• 杉村博之, 李庚晃, 谷口義尚, 田口好弘;特許第4919474号(2012)

タイトルに関連する用語 (4件)： プラスチック ,  VUV ,  光活性化 ,  低温接合