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J-GLOBAL ID：201402273052755237   整理番号：14A0045413

水素化カーボンに基づいたピエゾ抵抗薄膜系の新しい用途

Novel applications of piezoresistive thin film systems based on hydrogenated carbon

著者 (3件)： BIEHL Saskia (Fraunhofer Inst. Surface Engineering and Thin Films, Braunschweig, DEU) ,  RUMPOSCH Christian (Fraunhofer Inst. Surface Engineering and Thin Films, Braunschweig, DEU) ,  RECKNAGEL Christian (Fraunhofer Inst. Surface Engineering and Thin Films, Braunschweig, DEU)
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 8763  号： Pt.1  ページ： 87630D.1-87630D.7  発行年： 2013年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本報は,480mmの長さと7.3kgの重量を有するスピンドル平面上に丁度6~7mm範囲の厚みを有する電気分離した薄膜センサ構造を統合する可能性を示した。これ等は微小技術における基質の標準的な値ではなかった。この薄膜系におけるピエゾ抵抗センサ層は,炭素ベース被覆ファミリーの一部であり,そしてダイヤモンド状炭素被膜(DLC)の更なる展開である,水素化炭素層であった。本プロジェクトの次のステップでは,遠隔測定システムを回転下でテストした。ピエゾ抵抗炭素ベース被覆のもう1つの極めて重要な用途は,センサーの座金システムであった。センサ層は,6μm厚さで座金の鋼表面上に直接適用された。直接接触して電極構造が200nm厚みのクロムの外に配置されており,そこで電流経路が,センサ層を介して電極から座金へ直接進んでおり,それは絶縁薄膜センサーシステムではなかった。電極構造は,ケイ素および酸素で修飾された炭素被覆である耐摩耗性および絶縁層によって保護されていた。最新の検討から,導電性接着接合によるRFIDチップと電極構造を直接結合する可能性がある,ことを示した。最初のテストから,非接触型データ送信が可能である,ことを示していた。

シソーラス用語： *センサ ,  *システム ,  *電気抵抗 ,  *スピンドル ,  *座金 ,  水素化物 ,  炭素材 ,  被覆 ,  DLC膜 ,  遠隔測定 ,  鋼材 ,  構造 ,  クロム ,  配置 ,  経路 ,  耐摩耗性 ,  層 ,  保護作用 ,  標識 ,  非接触測定 ,  信号伝送
準シソーラス用語： RFIDタグ ,  *センサシステム ,  ダイヤモンド状薄膜 ,  データ送信 ,  *ピエゾ抵抗 ,  水素化グラフェン ,  絶縁層 ,  炭素被覆 ,  電極構造 ,  電流経路 ,  *薄膜センサ

分類 (5件)： 電気式制御機器  (IC02020Y) ,  その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  炭素とその化合物  (YB02060D) ,  酸化,還元  (CF02060T) ,  圧電デバイス  (NC03110I)

タイトルに関連する用語 (5件)： 水素化 ,  カーボン ,  ピエゾ抵抗 ,  薄膜 ,  用途