抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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当社は,半導体ウエハの微細化処理や搬送時の高速化など多様化する市場要求の進化に合せて,ユーザ向けに特化した製品を中心にウエハ搬送ロボットシステムを提供し,現在までに20,000台以上の納入実績を有している。そして,この実績をベースに高い信頼性を確保し,各モジュールの標準化とシリーズ化を図ったSEMISTAR-Mシリーズと,また近年では300mmと450mmウエハ高速搬送クリーンロボットSEMISTAR-MRシリーズをラインアップした。本稿では,SEMISTAR-MRシリーズの中で,より広範囲な搬送エリアをカバーするSEMISTAR-MR124LRと各種プリアライナ,更に今回強化したシミュレータ,オートティーチング機能などの支援ツールを述べている。(著者抄録)