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J-GLOBAL ID：201402274103226273   整理番号：14A0247006

半導体ウエハ高速搬送ロボットSEMISTAR-MR124LR

著者 (3件)： 野林繁美 (安川電機) ,  古市昌稔 (安川電機) ,  小淵信一 (安川電機)
資料名： 技報安川電機  (Yaskawa Technical Review)
巻： 77  号： 3  ページ： 174-177  発行年： 2013年12月20日 
JST資料番号： F0381A  ISSN： 0918-242X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 当社は,半導体ウエハの微細化処理や搬送時の高速化など多様化する市場要求の進化に合せて,ユーザ向けに特化した製品を中心にウエハ搬送ロボットシステムを提供し,現在までに20,000台以上の納入実績を有している。そして,この実績をベースに高い信頼性を確保し,各モジュールの標準化とシリーズ化を図ったSEMISTAR-Mシリーズと,また近年では300mmと450mmウエハ高速搬送クリーンロボットSEMISTAR-MRシリーズをラインアップした。本稿では,SEMISTAR-MRシリーズの中で,より広範囲な搬送エリアをカバーするSEMISTAR-MR124LRと各種プリアライナ,更に今回強化したシミュレータ,オートティーチング機能などの支援ツールを述べている。(著者抄録)

シソーラス用語： *産業用ロボット ,  *ウエハ【IC】 ,  信頼性 ,  標準化 ,  関節ロボット ,  シミュレータ ,  教示 ,  水平多関節ロボット ,  *半導体ウエハ ,  *運搬ロボット ,  改変 ,  ロボット
準シソーラス用語： 高信頼性 ,  製品紹介 ,  *搬送ロボット

分類 (2件)： 産業用ロボット  (IC04020M) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (2件)：

• 松下.“半導体ウエハ搬送モジュラーシステム”. 技報 安川電機, Vol.71, No.276, p.158 (2007, No.3)
• 野林. 古市, 小渕 “高速半導体ウエハ搬送ロボット”. 技報 安川電機, Vol.75, No.292, p.158(2011, No.3)

タイトルに関連する用語 (3件)： 半導体ウエハ ,  高速搬送 ,  ロボット