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J-GLOBAL ID：201402276510247121   整理番号：14A0631985

[100]に沿って自己配向したLaNiO₃膜に対するTEM研究

TEM study for self orientated LaNiO₃ film along [100]

著者 (9件)： SAKAMOTO Naonori (Shizuoka Univ., Hamamatsu, JPN) ,  OZAWA Kotaro (Shizuoka Univ., Hamamatsu, JPN) ,  MURAKOSHI Kohei (Shizuoka Univ., Hamamatsu, JPN) ,  OHNO Tomoya (Kitami Inst. Technol., Hokkaido, JPN) ,  KIGUCHI Takanori (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  MATSUDA Takeshi (Kitami Inst. Technol., Hokkaido, JPN) ,  KONNO Toyohiko (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  WAKIYA Naoki (Shizuoka Univ., Hamamatsu, JPN) ,  SUZUKI Hisao (Shizuoka Univ., Hamamatsu, JPN)
資料名： Key Engineering Materials  (Key Engineering Materials)
巻： 582  ページ： 185-188  発行年： 2014年 
JST資料番号： D0744C  ISSN： 1013-9826  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： スイス (CHE)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： Pb(Zr,Ti)O₃(PZT)膜にはPt電極が用いられているが疲労現象が存在するため,酸化物電極LaNiO₃(LNO)が注目されている。本研究では,Si(100)基板上に化学浴堆積(CSD)法によりLNOを作製し,TEM観察を行うことで膜面に対して垂直方向に[100]自己配向する理由を調べた。LNO膜は,硝酸Laと酢酸Niの2-メトキシエタノールと2-アミノエタノール溶液を前駆体としてスピンコーティングにより4層まで堆積した。評価はXRD測定および高分解能TEM観察により行った。その結果,2層および4層堆積したLNT膜は配向を示したが,1層のLNT膜は配向を示さなかった。このことから,LNTの配向は基板の構造に起因するものでないことが分かった。

シソーラス用語： *ニッケル酸塩 ,  *ランタン化合物 ,  *配向 ,  結晶方位 ,  *電子顕微鏡観察 ,  透過型電子顕微鏡 ,  ウエハ【IC】 ,  析出 ,  液相成長 ,  スピンコーティング ,  多層膜 ,  積層成形 ,  *誘電体薄膜 ,  薄膜 ,  脂肪族アミン ,  脂肪族アルコール ,  アミノアルコール ,  第一アミン ,  エーテル ,  *ニッケル酸ランタン ,  *強誘電体薄膜 ,  *透過型電子顕微鏡法 ,  シリコンウエハ
準シソーラス用語： ケイ素基板 ,  化学浴堆積

分類 (2件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  強誘電体,反強誘電体,強弾性  (BM05030B)

物質索引 (2件)： 2-アミノエタノール ,  2-メトキシエタノール

タイトルに関連する用語 (5件)： 自己 ,  配向 ,  LaNiO3 ,  TEM ,  研究