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J-GLOBAL ID:201402278137974533   整理番号:14A0306921

有機薄膜の劣化メカニズムの非破壊分析

Non-destructive Analysis of Degradation Mechanisms in Organic Thin Films
著者 (4件):
資料名:
巻: 2011  ページ: 20-23  発行年: 2013年12月 
JST資料番号: L5026A  ISSN: 1348-3730  資料種別: 年次報告 (Y)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 英語 (EN)
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有機エレクトロルミネセンス素子(OLED)を作製するのには多数の工程と幅広い材料が在るので,デバイス性能に影響する各パラメータを明らかにしそして標準操作方法を与えることが研究所では重要であった。ITO基板洗浄工程,予備処理設備,真空プロセス条件やデバイス特性評価法,等の作製工程を最適化するのは,各社のノウハウ故に公表されてこなかった。本プロジェクトの主目的は,デバイスの安定性と再現性を改良するために加工方法と新しい材料を開発するのを支援するため,堆積過程において存在する不純物そして薄膜およびデバイスにおける分解源を同定することであった。また,デバイス劣化の非破壊分析用の技法の開発も重要であり,この分野では,熱刺激電流(TSC)インピーダンス分光分析他が有望なツールであるが,その分析法は未だ十分に確立されていない。以下に検討内容を列挙した。1)標準OLEDデバイスの作製とデバイス特性評価法(ITO基板洗浄および処理条件,OLED性能に及ぼす影響の評価,標準OLEDデバイス用の評価法の確立),2)非破壊薄膜劣化分析法の開発(劣化分析法の確立,真空チャンバ中の材料分解分析,有機材料用の精製方法の開発と評価技法)。
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分類 (6件):
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分光分析  ,  抵抗性  ,  有機化合物の薄膜  ,  その他の高分子材料  ,  発光素子  ,  固体デバイス製造技術一般 
タイトルに関連する用語 (3件):
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