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J-GLOBAL ID：201402280042553411   整理番号：14A0036933

Tiを含むDLC膜に対する高温原子状酸素ビーム照射効果

Hyperthermal atomic oxygen beam irradiation effect on the Ti-containing DLC film

著者 (8件)： KANDA Kazuhiro (Lab. of Advanced Sci. and Technol. for Ind., Univ. of Hyogo, JPN) ,  FUKUDA Kazuhiro (Lab. of Advanced Sci. and Technol. for Ind., Univ. of Hyogo, JPN) ,  KIDENA Kengo (Lab. of Advanced Sci. and Technol. for Ind., Univ. of Hyogo, JPN) ,  IMAI Ryo (Lab. of Advanced Sci. and Technol. for Ind., Univ. of Hyogo, JPN) ,  NIIBE Masahito (Lab. of Advanced Sci. and Technol. for Ind., Univ. of Hyogo, JPN) ,  FUJIMOTO Synya (Fac. of Engineering, Kobe Univ., JPN) ,  YOKOTA Kumiko (Fac. of Engineering, Kobe Univ., JPN) ,  TAGAWA Masahito (Fac. of Engineering, Kobe Univ., JPN)
資料名： Diamond and Related Materials  (Diamond and Related Materials)
巻： 41  ページ： 49-52  発行年： 2014年01月 
JST資料番号： W0498A  ISSN： 0925-9635  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 高温原子状酸素ビームに暴露したTi添加ダイヤモンド状カーボン(Ti-DLC)膜の表面構造変化を,シンクロトロン放射を用いた吸収端近傍X線吸収微細構造(NEXAFS)分光により研究した。堆積した状態のTi-DLC膜のC K-NEXAFSスペクトルのスペクトル形状はDLC膜のものと似ていた。原子状酸素に暴露した後,スペクトルはTiC粉末のものと似ていた。堆積したままのTi-DLC膜のsp²/(sp²+sp³)比は高温原子状酸素ビームに暴露することにより劇的に低下した。一方で,堆積した状態のTi-DLC膜のTi L-NEXAFSスペクトルのスペクトル形状はTiC粉末のそれと似ており,原子状酸素に暴露後はTiO₂粉末のものと同様になった。これらの変化は,原子状酸素ビームの照射によるTi-DLC膜からのCOおよびCO₂の両者あるいはどちらか一方としてのC原子の放出によると考えられる。他方,酸化したTiはTi-DLC膜から放出されない。結果として,残留C原子はTi原子と結合するために,Ti-DLC膜中のCのsp²/(sp²+sp³)比は低下する。Copyright 2013 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *DLC膜 ,  *酸素 ,  酸素ビーム ,  イオン照射 ,  チタン ,  シンクロトロン放射 ,  XANES ,  蒸着膜 ,  酸化 ,  酸化チタン ,  放射線効果 ,  ダイヤモンド状炭素 ,  プラズマCVD ,  C-C結合 ,  アルキン ,  アルカン
準シソーラス用語： NEXAFS ,  二酸化チタン ,  *原子状酸素 ,  照射効果 ,  炭素-炭素結合

分類 (2件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  その他の物質の放射線による構造と物性の変化  (BK16124V)

物質索引 (2件)： アセチレン ,  メタン

タイトルに関連する用語 (5件)： Ti ,  DLC膜 ,  原子状酸素 ,  ビーム ,  照射効果