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J-GLOBAL ID：201402284535988609   整理番号：14A0369395

反応性RFマグネトロンスパッタ装置を用いてアルミ薄膜上に堆積させた酸化亜鉛・酸化ニオブナノアイランドの電気化学的特性

著者 (4件)： 桟敷剛 (香川高専) ,  紅野安彦 (岡山大) ,  難波徳郎 (岡山大) ,  岡野寛 (香川高専)
資料名： 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Spring Meeting (CD-ROM))
巻： 61st  ページ： ROMBUNNO.17P-PG2-15  発行年： 2014年03月03日 
JST資料番号： Y0054B  ISSN： 2436-7613  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *酸化亜鉛 ,  *酸化ニオブ ,  *ナノ構造 ,  *島状構造 ,  *電極 ,  硝酸カリウム ,  pH【水素イオン指数】 ,  RFスパッタリング ,  反応性スパッタリング ,  スパッタ蒸着 ,  アルミニウム ,  金属薄膜 ,  *基板 ,  *電気化学的腐食試験 ,  電極電位 ,  溶出 ,  光起電素子 ,  *太陽電池 ,  ガラス基板 ,  *ナノアイランド

分類 (3件)： 電極過程  (CB07040U) ,  酸化物薄膜  (BK14050P) ,  太陽電池  (NC03084O)

タイトルに関連する用語 (10件)： 反応性 ,  RF ,  マグネトロンスパッタ装置 ,  アルミ ,  薄膜 ,  堆積 ,  酸化亜鉛 ,  酸化ニオブ ,  ナノアイランド ,  電気化学的特性