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J-GLOBAL ID:201402286355478591   整理番号:14A1448880

シングルポリ埋め込みフラッシュメモリディスターバンス,プログラム/消去速度,耐久性,リテンション特性の比較研究

A Comparative Study of Single-Poly Embedded Flash Memory Disturbance, Program/Erase Speed, Endurance, and Retention Characteristic
著者 (4件):
資料名:
巻: 61  号: 11  ページ: 3737-3743  発行年: 2014年11月 
JST資料番号: C0222A  ISSN: 0018-9383  CODEN: IETDAI  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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シングルポリ埋め込みフラッシュ(eFlash)は普通のロジック技術で作れる埋め込み不揮発性メモリ(eNVM)である。コスト効率が良く中間密度のeNVMとしていくつかのシングルポリeFlashセルが提案されているが,最適セル構造は未だ議論の内である。5nmのトンネル酸化膜の標準2.5V I/Oトランジスタを使った65nmロジックプロセスで製作した二つのeFlashテストチップから得た実験データと,シミュレーションに基づいた様々なシングルポリeFlashメモリ構造をディスターバンス,プログラム/消去速度,耐久性,リテンション特性の観点で比較した。結論は,自己ブースティングをサポートする二つの付加パストランジスタにpMOS結合デバイス,NCAPトンネリングデバイス,nMOS読み出し/プログラムデバイスを結合させた5T eFlashセル構造がロジック適合eNVMとして最も適した選択である。
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分類 (1件):
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半導体集積回路 
タイトルに関連する用語 (3件):
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