抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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本研究では,圧電素子を用いたすべり案内面の浮き上がり変位補正法を検討した。圧電素子の周波数応答から動的な制御特性を明確にし,過渡応答法を用いてシステムを同定し,それに基づき積分制御系を設計し,制御実験により浮き上がりを良好に補正したことを報告している。