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J-GLOBAL ID：201402291990604203   整理番号：14A0117004

複合硬質膜の開発動向と膜特性評価法の現状 複合硬質膜の新しい特性評価法-MSE:マイクロスラリージェットエロージョン試験-

著者 (3件)： 岩井善郎 (福井大) ,  松原亨 (パルメソ) ,  勝俣力 (パルメソ)
資料名： トライボロジスト  (Journal of Japanese Society of Tribologists)
巻： 59  号： 1  ページ： 32-37  発行年： 2014年01月15日 
JST資料番号： F0390A  ISSN： 0915-1168  CODEN： TORAEO  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 著者らは新しいマイクロ・ナノスケールの表面強度特性評価法として,マイクロスラリージェットエロージョン(MSE)法を提案した。本報では,MSE法および複合硬質膜の表面強度評価の事例とMSE法の有用性について紹介解説した。主な内容項目を次に示した。1)はじめに:セラミック系薄膜やDLC膜のような硬質薄膜の強度および基材との密着性などの評価技術の現状と課題,MSE法の開発経緯など,2)MSE評価法:エロージョンを利用した評価法(エロージョン法の特性と課題),MSE評価法の原理(MSE法の原理としてウェットブラスト技術を用いて微小な固体粒子を投射し,表面の損傷速度から薄膜強度の評価をする手法を提案,ポット式試験装置の模式図など),試験法の特徴(基材の影響を受けずに弱い面,強い面両方の薄膜評価,多層膜や傾斜膜の強さの評価,表面より深さ方向に連続して強さ分布の評価など),3)TiC/TiN二層膜の評価と表面から深さ方向の特性の評価:CVD-TiC/TiN二層膜のMSE試験における断面曲線の変化,CVD-TiC/TiN二層膜の摩耗曲線とSq(三次元二乗平均平方根粗さ)の変化および表面からの深さ方向の摩耗率とSqの変化など,4)傾斜組成の硬質薄膜の評価:AlCrSiN膜の摩耗,AlCrSiN膜の摩耗率の深さ方向に対する変化と薄膜断面のTEM像と電子線回折,5)DLC膜の評価:DLC膜のMSE評価結果例,MSE法のDLC膜の特性や強度評価での有用性など,6)プラスチックレンズ上の多層ハードコート膜の評価:MSE法による市販のプラスチック眼鏡レンズ表面の試験結果とその評価など。

シソーラス用語： *皮膜 ,  *DLC膜 ,  薄膜 ,  *キャラクタリゼーション ,  微細構造 ,  ナノ構造 ,  *多層膜 ,  合成構造 ,  スラリー ,  エロージョン腐食 ,  チタン化合物 ,  炭化チタン ,  複合構造 ,  硬質薄膜 ,  窒化チタン ,  *二重層 ,  *硬質皮膜
準シソーラス用語： *マイクロスラリージェットエロージョン法 ,  *二層膜 ,  *硬質膜

分類 (3件)： 薄膜一般  (BK14010X) ,  潤滑一般  (QB02010S) ,  炭素とその化合物  (YB02060D)

引用文献 (15件)：

• 1) K. L. RUTHERFORD & I. M. HUTCHINGS:A Micro-Abrasive Wear Test, with Particular Application to Coated Systems, Surf. Coat. Technol., 79 (1996) 231-239.
• 2) S. HOGMARK, S. JACOBSON & M. LARSSON:Design and Evaluation of Tribological Coatings, Wear, 246 (2000) 20-33.
• 3) 岩井・松原:セラミック硬質薄膜の特性評価,トライボロジスト,55,8 (2010) 556-562.
• 4) I. M. HUTCHINGS:Abrasive and Erosive Wear Tests for Thin Coatings : A Unified Approach, Tribol. Int., 31 (1998) 5-15.
• 5) ASTM G76-07 Standard Test Method for Conducting Erosion Tests by Solid Particle Impingement Using Gas Jets, ASTM Standard Test Methods (2007).

タイトルに関連する用語 (8件)： 硬質膜 ,  開発 ,  動向 ,  膜特性 ,  評価法 ,  現状 ,  特性評価 ,  試験